（RE-01137）次世代放射光施設の蓄積リング光診断ライン用真空機器の製作【掲載期間：2021-3-15~2021-4-5】

（RE-01137） 次世代放射光施設の蓄積リング光診断ライン用真空機器の製作【掲載期間：2021-3-15~2021-4-5】 公告期間： ～ ( )に付します。 1．競争入札に付する事項仕様書のとおり２．入札書等の提出場所等入札説明書等の交付場所及び入札書等の提出場所並びに問い合わせ先(ダイヤルイン)nyuusatsu_kansai@qst.go.jp入札説明書等の交付方法上記２．(1)に記載の交付場所または電子メールにより交付する。 ただし、交付は土曜,日曜,祝日及び年末年始(12月29日～1月3日)を除く平日に行う。 電子メールでの交付希望の場合は、「 公告日,入札件名,当機構担当者名,貴社名,住所,担当者所属,氏名,電話,FAX,E-Mail 」を記載し、上記２．(1)のｱﾄﾞﾚｽに送信。 交付の受付期限は の17:00までとする。 入札説明会の日時及び場所の提出期限入札及び開札の日時並びに場所(4)E-mail：ＴＥＬ(2)件 名内 容一般競争入札(1)下記のとおり〒619-0215履行期限実 施 し な い国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構量子ビーム科学部門 関西光科学研究所管 理 部 長 和泉 圭紀仕様書のとおり京都府木津川市梅美台八丁目１番地７入 札 公 告次世代放射光施設の蓄積リング光診断ライン用真空機器の製作令和4年9月30日0774-71-3027履行場所製造請負令和3年3月15日R3.3.15 R3.4.5(1)(2)(3)令和 3 年 4 月 5 日 (月)令和3年4月20日(火)関西光科学研究所(木津地区)管理棟 中会議室 関西光科学研究所(木津地区)令和 3 年 4 月 6 日(火)(3)記ＦＡＸ 0774-71-3072飯塚 なつ紀技術審査資料17時00分(4)(5)14時00分管理部 経理・契約課３．競争に参加する者に必要な資格当機構から指名停止措置を受けている期間中の者でないこと。 全省庁統一競争入札参加資格を有する者であること。 当機構が別に指定する誓約書に暴力団等に該当しない旨の誓約をできること。 ４．入札保証金及び契約保証金 免除５．入札の無効入札参加に必要な資格のない者のした入札入札の条件に違反した者の入札６．契約書等作成の要否 要７．落札者の決定方法８．その他その他、詳細については、入札説明書によるため、必ず上記２．(2)により、 入札説明書の交付を受けること。 中に当機構ホームページにおいて掲載する。 以上 公告する。 (2)前項の誓約書を提出せず、又は虚偽の誓約をし、若しくは誓約書に反することとなったときは、当該者の入札を無効とするものとする。 (3)(4)技術審査に合格し、予定価格の制限の範囲内で、最低価格をもって有効な入札を行った入札者を落札者とする。 (最低価格落札方式)量子科学技術研究開発機構契約事務取扱細則第10条の規定に該当しない者であること。 ただし、未成年者、被保佐人又は被補助人であって、契約締結のために必要な同意を得ている者についてはこの限りでない。 量子科学技術研究開発機構契約事務取扱細則第11条第１項の規定に該当しない者であること。 (1)この入札に参加を希望する者は、入札書の提出時に、当機構が別に指定する暴力団等に該当しない旨の誓約書を提出しなければならない。 (2)落札決定に当っては、入札書に記載した金額に当該金額の10パーセントに相当する額を加算した金額(当該金額に1円未満の端数があるときは、その端数を切り捨てた金額とする)をもって落札価格とするので、入札者は、消費税に係る課税事業者であるか免税事業者であるかを問わず、見積もった金額の110分の100に相当する金額を入札書に記載すること。 (5)令和3年3月22日 (月) 17:00までに上記問い合わせ先宛てに質問書を提出すること。 なお、質問に対する回答は令和3年3月26日 (金)(2)(1)(2)(3)(4)(1)(1)本入札に関して質問がある場合には 1次世代放射光施設の蓄積リング光診断ライン用真空機器の製作仕様書国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構21 一般仕様1.1 件名次世代放射光施設の蓄積リング光診断ライン用真空機器の製作1.2 目的本件は、国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構(以下「量研」という。 )が官民地域パートナーシップにより整備する次世代放射光施設の電子ビーム蓄積リングにおいて、セル16の光取り出し管2の下流端に設置する光診断ライン用真空機器(可視光取り出しミラー、可動式アブソーバー、X線取り出し窓及びポート付き真空ダクト類)を設計・製作するものである。 1.3 仕様範囲名称 員数 備考機器取り付け用ポート付き真空ダクト 1 図2 参照可視光取り出しミラー 1 図3参照可動式アブソーバー 1 図4参照X線取り出し窓 1 図5参照排気ポート用T管 1 図6 参照オールメタルアングルバルブ 1 VAT製 54132-GE02相当品附属品: Swagelok 製リーク弁付ICF70閉止フランジ(1枚)合成石英ビューウィンドウ(ウィンドウ有効径60 mm程度)1 パスカル製VPZL-450DU相当品以上の物品について、設計、材料手配、製作、調達、試験、梱包、輸送、搬入を行うこと。 1.4 納入期限令和4年9月30日物品製造後、納入までの保管は受注者が行うこと。 詳細なスケジュールは、契約後に打合せの上決定する。 1.5 納入場所宮城県仙台市青葉区荒巻青葉468-1国立大学法人東北大学青葉山新キャンパス内の指定する場所31.6 納入条件持込渡しとする。 引き渡しの際に、それぞれの試験検査成績書をあわせて納入すること。 1.7 検査条件試験検査要領書に定める試験に合格し、提出図書の完納をもって検査完了とする。 1.8 保管条件製品の紛失、損傷、汚染、腐食、錆び等が発生しないように保管及び梱包を施すこと。 1.9 契約不適合責任契約不適合責任については契約条項のとおりとする。 1.10 提出図書以下の書類又は提出物を提出すること。 使用言語は日本語とする。 図書名 提出時期 部数 確認製作工程表 契約後速やかに 1部 要製作仕様書 契約後速やかに 1部 要構造図各種 製作前 1部 要製作要領書各種 製作前 1部 要試験検査要領書 試験前 1部 要打合せ議事録 打合せ後速やかに 1部(打合せ毎) 要試験検査成績書 納入時 1部 要取扱説明書 納入時 3部完成図書 納入時 3部 提出図書は電子ファイルも提出すること。 電子ファイルはWORD、EXCEL、2D CAD(.dxf 又は.dwg形式)、3D CAD(ソリッドワークス又は.step形式など)のファイルを提出すること。 PDFファイルも提出すること。 A1以上のサイズの図面は必ず紙を提出すること。  提出された3D CADファイル及び2D CADファイルの全体平面図及び全体側面図は周辺機器との干渉や取り合いを確認するために使用される。 これらは総合図に統合後に、使用を本プロジェクトのみに制限した上で、関係する他の会社に渡すことがあるため、必要に応じて、支障のない総合図用のファイルを提出すること。  全ての提出図書をファイルに綴じ、表紙と目次をつけたものを完成図書として 3 冊提出すること。 また、全ての書類の電子ファイルを CD-R などの記録媒体に収めたものを上記の完成図書と共に提出すること。 4(提出場所)国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構量子ビーム科学部門 次世代放射光施設整備開発センター加速器グループ(確認方法)量研は、確認のために提出された図書を受領したときは、期限日を記載した受領印を押印して返却する。 また、当該期限までに審査を完了し、確認しない場合には修正を指示し、修正等を指示しないときは、確認したものとする。 1.11 品質管理本品の製作に係る設計・製作・設置などは、全ての工程において、以下の事項などについて十分な品質管理を行うこととする。 ① 管理体制② 設計監理③ 外注管理④ 材料管理⑤ 工程管理⑥ 試験・検査管理⑦ 不適合管理⑧ 記録の保管⑨ 重要度分類⑩ 監査1.12 適用法規・規格基準本品は、放射性同位元素等規制法(RI 規制法)の適用を受ける放射線発生装置を構成するものである。 したがって、設計・製作・試験検査等にあたっては、以下の法令、規格、基準等を適用又は準用して行うこと。 ① 放射性同位元素等規制法(RI規制法)② 労働安全衛生法③ 日本産業規格④ その他受注業務に関し、適用又は準用すべき全ての法令・規格・基準等1.13 産業財産権等産業財産権等の取扱いについては、別紙－1「産業財産権等の取扱いについて」に定めるとおりとする。 51.14 機密保持受注者は、本品の製作にあたり、量研から知り得た情報を厳重に管理し、本業務遂行以外の目的で、受注者及び下請会社等の作業員を除く第三者への開示、提供を行ってはならない。 ただし、あらかじめ量研担当者の了承を得た場合にはこの限りでない。 1.15 グリーン購入法の推進① 本契約において、グリーン購入法(国等による環境物品等の調達の推進等に関する法律)に適用する環境物品(事務用品、OA機器等)が発生する場合は、これを採用するものとする。 ② 本仕様に定める提出図書(納入印刷物)については、グリーン購入法の基本方針に定める「紙類」の基準を満たしたものであること。 1.16 物品識別タグ本契約において納入する全物品のリストを量研が指定する様式にて納入前に量研に提出すること。 提出リストを元に、量研側でユニーク識別コードが書かれたタグを準備し支給する。 量研が指定した全物品に対し、支給タグを貼り付けた後に納入すること。 タグを貼る箇所については別途指示する。 1.17 協議本仕様書に記載されている事項について疑義が生じた場合は、量研担当者と協議の上、その決定に従うものとする｡1.18 権利の帰属本仕様書によって製作されたハードウエア等の図面を含む著作物の著作権は、量研に帰属するものとする。 資料等から波及する特許の行使権は、量研に帰属する。 1.19 技術打合せ工程、詳細設計及び試験等に関する技術打合せを量研担当者の指示する日時・場所にて行い、受注者は1名以上の設計担当者(技術者)が出席すること。 議事内容や決定事項を、議事録として毎回提出すること。 打合せ時の使用言語及び技術資料、議事録の使用言語は日本語とする。 1.20 その他故障や不良等が発生した場合には速やかな対処(目安として24時間以内)が可能であること。 また原因と対処方法を速やかに量研担当者に報告すること。 62 技術仕様2.1 概要次世代放射光施設の加速器は線型加速器と蓄積リングで構成される。 蓄積リングは、3GeVの高エネルギーかつ1 nm・rad程度の低エミッタンス電子ビームを周回させ蓄積するもので、16個の単位セルから成り、各セルは約1 mの短直線部を各1本有する。 16本の短直線部のうち、セル16の短直線部には光診断用の光源として3極ウィグラー(仕様範囲外)が設置され、そこからの放射光が光取り出し管2(仕様範囲外)を通して下流側に輸送される。 本件は、セル 16 光取り出し管 2 の下流に接続して設置する光診断ライン用真空機器(機器取り付け用ポート付き真空ダクト、可視光取り出しミラー、合成石英ビューウィンドウ、可動式アブソーバー、排気ポート用T管、メタルアングルバルブ、X線取り出し窓)の設計・製作、調達に適用する。 光診断ライン用真空機器の配置(平面図)を参考図として図1に示す。 このうち、ゲートバルブ及びゲートバルブ用支持架台に関しては、本件の仕様範囲外である。 2.2 基本仕様2.2.1 真空チェンバー構成可視光取り出しミラー、及び可動式アブソーバーは、機器取り付け用ポート付き真空ダクトに取り付けられて、ゲートバルブ(仕様範囲外)の上流側に設置される。 可視光線は、合成石英ビューウィンドウ(ICF114フランジ)により大気中に取り出される。 X 線取り出し窓は、排気ポート付き T 管を介してゲートバルブ(仕様範囲外)の下流側に設置される。 真空ゲートバルブを閉じた状態で X 線取り出し窓の交換等のメンテナンス作業が行えるように、排気ポート付きT管のICF70フランジポートには、オールメタルアングルバルブ(VAT製 54132-GE02相当品)が取り付けられる。 2.2.2 設計条件真空本仕様の真空容器は 1e-7 Pa 以下の超高真空圧力で使用するため、それに応じた製作工程を検討すること。 許容リーク量は1.0e-11 Pa・m3/s(フード法、5分間保持)以下とする。 温度設計温度(常温)は、室温25 ℃、冷却水往き水温25 ℃とする。 ベーキング温度は150 ℃とする。 全ての機器は150 ℃以上の温度でベーカブルであること。 耐放射線性本仕様の真空チェンバー等の機器は放射線の発生する環境下で使用される。 金属以外の材料を使用する場合は、その材質を構造図に明示すること。 72.2.3 真空チェンバー材質チェンバー本体の材質は SUS316L、アブソーバー及びミラー母材の材質は無酸素銅(C1020)、X線取り出し窓部はアルミ合金(A5052)とする。 各素材のミルシートを提出すること。 2.2.4 製作工程受注者にて製作工程を検討すること。 機械加工した各部品を溶接、ロウ付け、HIP(HotIsostatic Pressing: 熱間等方圧加圧)等により接合して製作し、ヘリウムリーク試験(詳細は後述の試験に記載)を行うこと。 製作前に製作工程を記載した製作要領書を提出し、量研担当者の確認を得ること。 2.2.5 製作仕様 板厚真空チェンバーの板厚は2～3 mmを基本とする。  寸法公差特に指定のない箇所の寸法公差は、JIS B 0419 mKを原則とする。 真空チェンバーの曲がりは、ねじれ成分も含め、チェンバー長さ1 m当たり0.5 mm以下を原則とする。 放射光軸のフランジの直角度は、0.2 mm以下とする。 製作精度を検討の上、詳細精度を構造図に記載し、量研担当者の確認を得ること。 2.2.6 クリーン環境真空チェンバー及び部品の製作・組立ては、洗浄後の工程においては、溶接組立、試験・検査、梱包も含め、クリーンルーム(JIS B 9920クラス7)相当で行うこと。 真空面、真空部品に素手で触ることは厳禁とする。 治具、工具類も清浄な手袋で取り扱い、汚れを移さないように管理すること。 特にボルト、ナット類を触れた手袋で真空部品に触れないよう注意のこと。 製造の工程においてやむを得ずクリーンルームの代わりにクリーンブース等を使用する場合は、清浄度の管理を実施すること。 製作要領書に、クリーン環境の管理及び製品取扱いについて記載し、量研担当者の確認を得ること。 2.2.7 機械加工機械加工等を行う場合の表面粗さは、特記以外は以下とする。 事前に製作要領書を提出し、加工基準を明確にすること。  真空面旋盤加工部 ： 6.3z 真空面ワイヤーカット、フライス加工部： 10z 非真空面 ： 12.5z程度82.2.8 洗浄ガス放出を低減させるため、真空チェンバーは電解研磨を施すこと。 ガス放出速度の目標は1e-9 Pa・m3/s/m2以下(目標1e-10 Pa・m3/s/m2以下)とする。 機械加工品は脱脂洗浄を施すこと。 洗浄後の検査では目視検査とブラックライト検査を行い、汚れ、油分の付着がないことを確認すること。 全ての真空チェンバー部品に対して、その後の汚染の恐れがないタイミングで最終脱脂洗浄を実施すること。 洗浄液が真空内面に残らないように注意して施工すること。 万一洗浄液が残った場合でも腐食が発生しないようにすること。 最終洗浄では、サンプリング液による微粒子検査と油分検査を行うこと。 それぞれ、500 mLで粒径300 µm以上の粒子が認められないこと、及び500 mL中に2.5 mg以上の不揮発性残渣がないことを確認すること。 最終洗浄後の製品はクリーンルーム(JIS B 9920クラス7)相当で取り扱い、製品を汚染させないこと。 最終洗浄後に機械加工を実施する必要がある場合は、原則、切削油を使用しないドライ加工又はアルコール加工とすること。 更に、製品に対する切粉等による汚染防止対策を施すこと。 万一、最終洗浄後に真空チェンバー、真空部品を汚染した場合は、汚染された真空チェンバー、真空部品全数に対して脱脂洗浄、サンプリング液による検査、純水洗浄等を実施し、健全性を確認すること。 事前に洗浄要領書を提出し、量研担当者の確認を得ること。 2.2.9 梱包・輸送製品を傷つけないように、適切に梱包・輸送すること。 真空チェンバーは、輸送用フランジを付け、内部を超高純度窒素で充填し、空気が入らないようにすること。 外面は清浄なポリエチレン袋で密封し、ポリエチレン袋内に脱酸素剤を入れること。 フランジで密封できない真空部品は、清浄なポリエチレン袋で2重に密封し、超高純度窒素を充填すること。 1重目と 2 重目のポリエチレン袋の間に脱酸素剤を入れること。 密封はヒートシールとすること。 なお、真空チェンバーにつける部品は工場で接続し、リークテストを実施すること。 損傷、汚染、腐食、錆び等が発生しないように梱包すること。 2.2.10 保守定期的な保守が必要な製品は、取扱説明書に保守間隔、内容等を明記すること。 2.2.11 試験各製作工程において以下の試験を行うこと。 事前に試験の内容をまとめた試験検査要領書を提出し、量研担当者の確認を得ること。 試験の結果を速やかに試験検査成績書にまとめ、量研担当者の確認を得ること。 洗浄後の製品、部品の試験の環境は、クリーンルーム(JISB 9920クラス7相当の清浄度)とすること。 試験に必要な機器、消耗品(ボルト等)のうち、貸与品に記載のない機器、物品については、全て受注者にて準備すること。 9 材料検査各部品の材質が適用 JIS 値又は指定材料であることをミルシートなどにより確認すること。 材料確認に用いた資料を提出すること。  外観試験目視により、外観(特に真空内面、真空シール面)に変形、キズ、ヒビ割れ等の欠陥、油分、ゴミ等の付着及び腐食がないことを確認すること。  寸法試験主要寸法が指定許容差内であることを、三次元測定器などを用いて確認すること。 寸法測定箇所は、公差を入れて図面に記載すること。  冷却水路耐圧・漏洩試験冷却水路部をN2ガスで1 MPaまで加圧し、水路に変形がないこと、スヌープ等を用いて漏れがないことを確認すること。 またN2ガスで0.8 MPaまで加圧後、5分間保持し、漏れがないことを確認すること。  ヘリウムリーク試験各真空チェンバーに対してフード法によるヘリウムリーク試験を実施すること。 保持時間は5分間とする。 リークテストに必要なヘリウムリークディテクタ、ヘリウムガス(グレードは G2 以上)、ブランクフランジ等は受注者にて全て準備すること。 許容リーク量は 1箇所当たり1.0e-11 Pa・m3/s 以下とする。 許容リーク量以下であっても、フランジ締結部からのリークは認めない。 ガスケット交換等の対処を行い、リークを完全に止めること。 試験実施直前のヘリウムリーク量のバックグラウンドを記録しておくこと。 試験中にバックグラウンドが上昇しないようにすること。 ヘリウムリークディテクタの配置等にも留意すること。 リークディテクタ校正時及び試験時のチャートを提出すること。  可視光ミラー反射波面精度測定2.3.1項の可視光取り出しミラーの反射波面精度を、干渉計などを用いて測定しデータを提出すること。  可動式アブソーバー動作試験2.3.2項の可動式アブソーバーの動作試験を、真空チェンバー内を油逆流のおそれがない真空ポンプを用いて圧力1×10-3 Pa以下に真空排気した状態で、指定された回数の繰り返し駆動を行うこと。 ・繰り返し駆動の各回で、駆動がスムーズであること、リミットスイッチなどが正常に作動することを確認し、記録すること。 ・繰り返し駆動の各回で、アブソーバーの駆動ストローク、挿入時の高さ方向の位置再現精度を確認し、記録すること。 ・繰り返し駆動後に、ベローズに異常がないこと、リミットスイッチ取り付け部にゆるみがないこと、リミットスイッチの作動が正常であることを確認すること。 ・繰り返し駆動後に大気開放し、駆動機構に変形、あたり、ゆるみなどの異常がないこと10を確認すること。 ・繰り返し駆動の回数は、10往復とする。 2.3 詳細仕様2.3.1 機器取り付け用ポート付き真空ダクト・構造を、参考図として図2に示す。 ・ビーム軸ポート、及び機器取り付けポートは、ICF114フランジとする。 各フランジ部に、アライメント等で使用するケガキ線等のマーキングを設けること。 ・真空ダクト及び各ポートの内径はφ60 mmとする。 ・合成石英ビューウィンドウ(ICF114 フランジ、有効径φ60 mm 程度、パスカルVPZL450DU相当品)調達し、取り付けること。 ・2.3.2 項の可視光取り出しミラーと 2.3.3 項の可動式アブソーバーの冷却水路を、直列に接続するためのSUSパイプの水冷配管を取り付けること。 2.3.2 可視光取り出しミラー部・可視光ミラーとその取り付けポート部(機器取り付け用ポート付き真空ダクト)の構造を、参考図として図3に示す。 ・可視光ミラーの母材材質は、無酸素銅(C1020)とする。 ・ミラー母材に、ICF114フランジ(SUS316L)を電子ビーム溶接(EBW)又はロウ付けにより接合して取り付けること。 フランジには、ミラー取り付け時に回転方向が確認できるケガキ線などのマーキングを設けること。 ・ミラー面は放射光軸に対して 45°±0.5°傾け、リング外側の水平 90°方向に可視光線を取り出すものとする。 また、放射光のパワー分布が集中する軌道面上を避け、軌道面から3 mmより上側の領域に配置し、ミラー面の法線方向から見たサイズは、44 mm程度(水平)×20 mm以上(垂直)とする。 ・ミラー面とする範囲には、無電解ニッケルメッキを施し、反射波面精度 1λ(λ=633nm)以下、目標λ/4程度に光学研磨すること。 光学研磨後、アルミニウム蒸着を施し、SiO2膜でコーティングすること。 図 3では、ミラー面となる受光部とその他の面が同一面となっているが、研磨の都合などによりミラー部だけ凸に突き出した形状に設計してもよい。 ・ミラーの水冷のために、2重管構造の水路を設けること。 隣接する機器の水冷配管等との接続のために、外径10 mm程度及び内径8 mm程度のSUSパイプを水路出入口に溶接し、継ぎ手としてミリサイズのSwagelokユニオンを取り付けること。 水路の詳細は、別途打合せの上、決定する。 ・ワイヤーカット等放電加工した部品の表面仕上げとして、電解研磨を実施すること。 11・各部品を溶接で組み立てた後に、電解研磨及び脱脂洗浄することは困難であるため、洗浄後の部品を汚染しないように十分注意すること。 ・ミラー母材に、温度モニター用熱電対(仕様範囲外)を取り付けるための穴を1箇所設けること。 取り付け位置については、別途打合せの上、決定する。 2.3.3 可動式アブソーバー部・可動式アブソーバーとその取り付けポート部(機器取り付け用ポート付き真空ダクト)の構造を、参考図として図4に示す。 ・可動式アブソーバーの受光体の材質は、無酸素銅(C1020)とする。 ・アブソーバーは放射光軸上に挿入、及び軸上から退避できるように、溶接ベローズにより上下駆動できる構造とすること。 ベローズ端板(SUS316L)と、電子ビーム溶接(EBW)又はロウ付けにより接合すること。 ・ポートとフランジで取り合うための ICF114 フランジをベローズ側にも取り付けること。 フランジには、アブソーバーの回転方向等が確認できるケガキ線などのマーキングを設けること。 ・挿入、退避のための上下駆動は圧空シリンダーにより行い、挿入・退避の切り替えは手動弁で操作するものとする。 上下駆動のストロークは、30 mm以上とすること。 無電解ニッケルメッキ後、光学研磨。 研磨後、アルミニウム蒸着し、SiO2膜でコーティングミラー母材(C1020)水冷管二重管構造 穴径φ12外径φ10内径φ8ICF114フランジ材質：ミラーブロック C1020フランジ、ダクト、ポート部 SUS316LEBW or ロウ付け(140)20mm以上(垂直方向)図４： 可動式アブソーバー (参考図) 長さの単位：mm穴径φ12外径φ10内径φ8EBW or ロウ付けアブソーバー(C1020)材質：アブソーバー C1020フランジ、ダクト、ポート部 SUS316L溶接ベローズ SUS316L水冷管二重管構造放射光アブソーバー挿入状態アブソーバー退避状態 (30mm以上上方へ移動)ICF114フランジ溶接ベローズ受光部(20°斜入射)・圧空シリンダーによる駆動・手動弁による手動操作・挿入側と退避側に、機械式リミットスイッチ(A接点、許容接点容量1A, 50V DC)を取り付けること。 放射光ベローズ端板散乱X線遮蔽部図５： X線取り出し窓 (参考図) 長さの単位：mm材質：窓部 A5052マスク部 C1020フランジ部 SUS316L上 下放射光マスク開口1mm (H) × 5mm (V)HIP接合(アルミ合金＋無酸素銅)HIP or EBW接合(無酸素銅+ステンレス)窓厚4mm放射光図６： 排気ポート用T管 (参考図) 長さの単位：mmICF114フランジ材質： SUS316LICF114フランジICF70フランジオールメタルアングルバルブVAT製 54132-GE02(相当品)付属品：Swagelok製リーク弁付ICF70閉止フランジを取り付ける。 放射光別紙－11 / 2産業財産権等の取扱いについて(受注者が単独で行った発明等の産業財産権の帰属)第１条 受注者は、本契約に関して、受注者が単独でなした発明又は考案(以下「発明等」という。 )に対する特許権、実用新案権又は意匠権(以下「特許権等」という。 )を取得する場合は、単独で出願できるものとする。 ただし、出願するときはあらかじめ出願に際して提出すべき書類の写しを添えて量研に通知するものとする。 (受注者が単独で行った発明等の特許権等の譲渡等)第２条 受注者は、受注者が前条の特許権等を量研以外の第三者に譲渡又は実施許諾する場合には、本特約条項の各条項の規定の適用に支障を与えないよう当該第三者と約定しなければならない。 (受注者が単独で行った発明等の特許権等の実施許諾)第３条 量研は、第１条の発明等に対する特許権等を無償で自ら試験又は研究のために実施することができる。 量研が量研のために受注者以外の第三者に製作させ、又は業務を代行する第三者に再実施権を許諾する場合は、受注者の承諾を得た上で許諾するものとし、その実施条件等は量研、受注者協議の上決定する。 (量研及び受注者が共同で行った発明等の特許権等の帰属及び管理)第４条 量研及び受注者は、本契約に関して共同でなした発明等に対する特許権等を取得する場合は、共同出願契約を締結し、共同で出願するものとし、出願のための費用は、量研、受注者の持分に比例して負担するものとする。 (量研及び受注者が共同で行った発明等の特許権等の実施)第５条 量研は、共同で行った発明等を試験又は研究以外の目的に実施しないものとする。 ただし、量研は量研のために受注者以外の第三者に製作させ、又は業務を代行する第三者に実施許諾する場合は、無償にて当該第三者に実施許諾することができるものとする。 ２ 受注者が前項の発明等について自ら商業的実施をするときは、量研が自ら商業的実施をしないことにかんがみ、受注者の商業的実施の計画を勘案し、事前に実施料等について量研、受注者協議の上、別途実施契約を締結するものとする。 (秘密の保持)第６条 量研及び受注者は、第１条及び第４条の発明等の内容を出願により内容が公開される日まで他に漏洩してはならない。 ただし、あらかじめ書面により出願を行った者の了解を得た場合はこの限りではない。 (委任・下請負)別紙－12 / 2第７条 受注者は、本契約の全部又は一部を第三者に委任し、又は請け負わせた場合においては、その第三者に対して、本特約条項の各条項の規定を準用するものとし、受注者はこのために必要な措置を講じなければならない。 ２ 受注者は、前項の当該第三者が本特約条項に定める事項に違反した場合には、量研に対し全ての責任を負うものとする。 (協議)第８条 第１条及び第４条の場合において、単独若しくは共同の区別又は共同の範囲等について疑義が生じたときは、量研、受注者協議して定めるものとする。 (有効期間)第９条 本特約条項の有効期限は、本契約締結の日から当該特許権等の消滅する日までとする。