極表面複合分析装置の購入

極表面複合分析装置の購入 入札公告・調達番号「65305」・調達件名「極表面複合分析装置の購入」 このサイトではJavaScriptを使用したコンテンツ・機能を提供しています。 JavaScriptを有効にするとご利用いただけます。 本文へスキップします。 長野県Nagano Prefecture 音声読み上げ 文字サイズ・色合い変更 Foreign Language お問い合わせ 検索 アクセス メニュー 検索 閉じる 閉じる キーワードから探す 検索の使い方 よく検索されるキーワード 目的から探す 相談窓口 入札・調達 県政に参加 申請・手続き 条例・県報 組織・機関 閉じる 閉じる 防災・安全 暮らし・環境 健康・医療・福祉 教育・子育て 仕事・産業・観光 社会基盤 県政情報・統計 ホーム > 県政情報・統計 > 入札・調達 > 物品・委託等調達情報 > 【県庁及び現地機関】一般競争入札の公告 ここから本文です。 調達物品説明書 公告開始日 令和3年6月17日 調達番号 65305 調達件名 極表面複合分析装置の購入 予算執行者 工業技術総合センター所長 契約種類 物件の買入れ 契約種別 総価契約 履行期限 令和4年3月30日 納入場所 長野県工業技術総合センター精密・電子・航空技術部門 契約方法 一般競争入札（政府調達） 入札・開札の日時 令和3年7月27日 午前10:00 入札・開札の場所 長野県庁西庁舎１階 入札室 説明書等 入札説明書による 契約書(案) 物品調達標準契約書による 本件調達に係る照会先 【入札手続き等に関する照会先】〒380-8570長野県長野市大字南長野字幅下692-2長野県会計局契約・検査課 用品調達係026-235-7079【仕様等に関する照会先】〒394-0084長野県岡谷市長地片間町1-3-1長野県工業技術総合センター 精密・電子・航空技術部門化学部 矢﨑 0266-23-4000 参加資格 次のいずれにも該当する者であること。 １ 地方自治法施行令（昭和22年政令第16号。 ） 第167条の４第１項又は財務規則（昭和 42年長野県規則第２号。 ） 第120条第１項の規定により入札に参加することができない とされた者でないこと。 ２ 長野県の調達する製造の請負、物件の買入れその他の契約に係る一般競争入札又は指 名競争入札に参加する者に必要な資格（平成30年長野県告示第588号） の「物件の買入 れ」の等級がＡに区分されている者であること。 ３ 長野県会計局長から物品購入等入札参加資格者に係る入札参加停止措置要領（平成23 年３月25日付け22管第285号） に基づく入札参加停止を受けている期間中の者でないこ と。 ４ 長野県暴力団排除条例（平成23年長野県条例第21号） 第２条第２号に規定する暴力団 員又は同条例第６条第１項に規定する暴力団関係者でないこと。 ５ 調達物品等に関し、メンテナンス（保守及び管理） を迅速に行う体制が整備されてい る者であること。 説明会 開催しない 技術資料等の提出内容 次のとおり、技術資料等を提出すること。 なお、入札書提出時までに仕様等を満たしていると認められなかったときは、当該入札書を落札決定の対象にしない。 １ 技術資料等の内容 ア 機器類のカタログ及び技術仕様書 イ アフターサービス、メンテナンスの体制が十分に整備されていることを示す書類 ウ 所定の手法により評価した装置性能を示す資料 エ その他、必要に応じ発注者が提出を求めた補足資料２ 提出期限及び場所 ア 日時 令和３年７月７日（水） 午後５時 イ 場所 工業技術総合センター精密・電子・航空技術部門 化学部 その他 １ 入札申込書の提出 この入札に参加しようとする者は、令和３年７月21日（水） 午後５時までに入札申込 書を契約・検査課に提出してください。 ２ 入札保証金 地方自治法施行令（昭和22年政令第16号） 第167条の７第１項に規定する入札保証 金を入札書提出時までに納付してください。 ただし、財務規則（昭和42年長野県規則第２号。 ） 第126条第２項各号に掲げる担 保を提供した場合又は第127条各号の一に該当する場合は、納付する必要はありませ ん。 なお、落札者が契約を締結しないときは、納付させないこととした金額に相当する 金額を徴収するものとします。 ３ 入札の無効 入札説明書11の各号の一に該当する入札書は、無効とします。 ４ 郵送入札の可否 郵送による入札を認めます。 なお、郵送等により入札書を提出する場合は、令和３年７月26日（月） 午後５時まで に契約・検査課に到達するように送付してください。 ５ この調達案件の公告は、長野県報に掲載されています。 ６ その他 本件入札に係る契約の締結については、長野県議会の議決に付さねばならないので、 落札決定後仮契約書を作成するものとし、長野県議会の議決があったときに、その契約 書を地方自治法第234条第５項に規定する契約書とみなします。 仕様書 調達物品は、別表のとおり。 仕様の詳細は添付のとおり。 別表 品名／規格 数量 備考 極表面複合分析装置別添仕様書のとおり 1式 添付ファイル等 入札書様式 入札書 添付ファイル 極表面複合分析装置入札仕様書.docx ページの先頭へ戻る 入札・調達 長野県の契約に関する条例 公共工事入札・契約情報 CALS／EC 積算基準・施工単価 公共工事検査 競争入札参加資格（建設工事等） 物品・委託等調達情報 製造の請負、物件の買入れ、その他の契約の概要 競争入札参加資格（製造・買入れ・その他） 一般競争入札への参加手続について 公募型見積合わせへの参加手続について 製造の請負、物件の買入れの関係様式等 令和元・2年度競争入札参加資格についてのQ&A イベントカレンダー 長野県庁法人番号1000020200000 〒380-8570 長野県長野市大字南長野字幅下692-2 電話：026-232-0111（代表） このサイトの考え方 ウェブアクセシビリティ方針 個人情報について サイトマップ リンク集 リンクについて 県庁フロア・アクセス案内 お問い合わせ ページの先頭へ戻る Copyright © Nagano Prefecture. All Rights Reserved. 極表面複合分析装置 仕様書１ 調達物品名極表面複合分析装置２ 調達物品の規格、品質及び性能 極表面複合分析装置は、装置本体、データ解析装置、試料前処理用グローブボックス、予備観察用顕微鏡から構成され、次世代通信機器に用いられる電子部品の表面や光学多層膜の構造を評価する装置である。 本装置の規格、性能および品質については下表を満足するものとする。 項目要求仕様分析機能・X線光電子分光分析(XPS)・低エネルギーイオン散乱分光分析(ISS)・オージェ電子分光分析(AES)・紫外光電子分光分析(UPS)X線源・単色化Al線(1487 eV)・単色化Ag線(2984 eV)エネルギー分解能単色化Al線を用いて、Agを分析した時のAg3d5/2ピーク分解能が0.5 eV以下であることイオン銃・Arガスクラスターイオン銃・Ar単原子イオン銃Arガスクラスターイオンサイズ500～2,000個より広い範囲で可変できること３ 数量 一式４ 調達条件 「２ 調達物品の規格、品質及び性能」は概要であり、詳細は別紙詳細仕様書によること。 ５ 参考機種 上記の仕様を満たすものとしては次の機種がある。 極表面複合分析装置: 日本エフイー・アイ(株) ESCALAB Xi+ (株)島津製作所 KRATOS ULTRA2６ 納入期限 令和4年3月30日７ 納入場所 長野県工業技術総合センター 精密・電子・航空技術部門８ 設置場所 長野県工業技術総合センター 精密・電子・航空技術部門 エスカオージェ分析室 指定場所(別紙)極表面複合分析装置 詳細仕様書第１ 装置の構成 極表面複合分析装置は、装置本体、データ解析装置、試料前処理用グローブボックス、予備観察用顕微鏡から構成されるものであること。 なお、納入品は全て新品であること。 第２ 装置の性能 以下に示す性能と同等以上の性能を有すること。 １ 極表面複合分析装置本体 1式極表面複合分析装置本体は、エネルギー分光器、X線励起源、アルゴンイオン銃、試料ステージ、試料導入室、分析室等により構成されており、加えてイオン散乱分光分析、オージェ電子分光分析、紫外線分光分析、逆光電子分光分析が可能であること。 エネルギー分光器静電半球型のエネルギー分光器であること単色化Al Kα線を用いたラージエリア測定において、Ag 3d5/2半値幅で0.50 eV以下のエネルギー分解能を有すること結合エネルギーの走査範囲は0 – 3000 eVより広い範囲で設定できることアナライザー透過率一定モード、減速比一定モードのいずれも設定可能であることエネルギーステップは0.01 eV以下に設定できること透過率一定モードにおいて、透過エネルギー範囲は5 – 100 eVより広い範囲で5段階以上設定可能であることX線励起源アノードはAlと2973.2 eV以上のX線を発生できるアノードを同一装置内に有し、容易に切り替え可能であることいずれのアノードともに分光結晶等による単色化機構を有し、その機構の調整は容易であることAlアノードと分光結晶を用いた単色化Al線光学系においては、直径500 mm以上のローランド円を有することX線電源(高電圧、エミッション電流、フィラメント電流値等)の設定と読み取り、脱ガスルーチン等は全てコンピューターコントロールであること真空度、冷却水流量、過電流等によるインターロックを有すること微小部分析能力スペクトロスコピーのスポット径は、knife edge法で定義される分解能において20 μm以下であることパラレルイメージングによる光電子像、もしくは走査X線励起の二次電子像による微小位置合わせが可能であることイメージングの位置分解能はknife edge法で定義される分解能において5 μm以下であること微小部分析機能の操作は全てコンピューターコントロールであることスペクトロスコピーの空間分解能に対するエネルギー分解能及び感度は下記に示す性能を満たすこと空間分解能エネルギー分解能(半値全幅)感度100 μm以上(大面積)0.50 eV以下100,000 cps以上20 μm0.50 eV以下400 cps以上帯電中和機能低速電子の照射等により絶縁物のスペクトル取得が可能であることポリエチレンテレフタレート(PET)の測定において、エステル成分の半値幅が0.85 eV 以下であることアルゴンイオン銃アルゴンの単原子イオンとクラスターイオンを測定ルーチン内で自動的に切り替えて照射可能であること照射位置はX線光電子スペクトル分析位置であることガス導入を含め全てコンピューターコントロールであることアルゴン単原子イオンのビームエネルギーは500 eVから4 keV以上の範囲で可変であることアルゴンクラスターイオンのビームエネルギーは2 keVから8 keV以上の範囲で可変であることアルゴンクラスターのサイズは500～2,000個より広い範囲で可変できることイオンビームは1 mm角以上の範囲でラスタースキャン可能であること差動排気機構を有することビーム電流は自動調整できること試料ステージX, Y, Z, θ軸(分光器インプットレンズとのなす角)、φ軸 (試料面内方向)の可動軸を有することθ軸は分光器インプットレンズと試料鉛直面のなす角として、0 – 60°以上可動できることステージ制御は全てコンピューターコントロールであること下記試料ホルダを付属すること。 ただし、一種類のホルダで複数の機能を満足できる場合、協議の上納入数を変更できるものとする名称・用途試料面積 (以上)試料高さ(以上)備考数量標準25×14 mm5 mm3背高試料12×6 mm9 mm1面内回転直径30 mm2 mm1角度分解25×14 mm3 mm60°傾斜可能1冷却・加熱10×10 mm3 mm-100 – 700℃1トランスファーベッセル直径20 mm (中心部5 mmの範囲を除く) または 25×14 mm5 mm1標準試料Cu, Ag, Au, メッシュ、ファラデーカップ1試料導入室試料ホルダ2点以上を高真空中で保持できるパーキング機構を有すること排気系はターボ分子ポンプとロータリーポンプで構成されていること試料導入室に電離真空計(熱陰極または冷陰極型)を有すること真空系統の制御は全てコンピューターコントロールであること不活性雰囲気で調製した試料を封入したトランスファーベッセルを接続するためのポートを設けること試料ホルダ外観の観察・撮影のため、以下の機能を備えること試料導入室内もしくは別置カメラにより試料ホルダ全体の撮影が可能であること撮影された画像とステージ位置を連動させて分析位置の指定が可能であること照明の点灯・消灯制御が可能であること照度の制御もしくはカメラ条件の調整により、画像の明るさが調整できること分析室分析室はミューメタル製であること電離真空計(熱陰極または冷陰極型)を有すること電離真空計が熱陰極型の場合、フィラメントは2本以上を備えること排気系はターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ、チタンサブリメーションポンプであること12時間ベーキング後、24時間経過時点における到達圧力は10-8 Pa台以下であることベーキング系は自動制御であること分析室内もしくは試料導入室内に試料ホルダの温度を-100 – 700℃以上の範囲で制御可能な加熱・冷却機構を有すること床からの振動に対する対策がなされていること分析箇所を光学像で観察できるよう、以下の機能を備えることCCDカメラ等により分析試料の画像を取得、保存可能であることズームカメラ等により拡大観察が可能であること照明の点灯・消灯制御が可能であること照度の制御もしくはカメラ条件の調整により、画像の明るさが調整できることイオン散乱分光分析Ar+、He+によるイオン散乱分光分析が可能であること分光器の極性反転はコンピューターコントロール可能であることオージェ電子分光分析電界放出型電子銃を有し、加速電圧は1 – 10 kV以上の範囲で可変であること二次電子検出器によるSEM像を取得・保存できることビームスキャンによる元素/結合状態マッピングが可能であることゼロロスピークを含め、反射電子エネルギー損失分光スペクトルが取得できることデータシステムがX線光電子スペクトル測定と統合化されていること電子銃、二次電子検出器等はコンピューターコントロールであること分析室真空度、フィラメント過電流等に対する電子銃へのインターロックを有すること紫外線分光分析He I 線(21.2 eV)、He II 線(40.8 eV)の励起による光電子スペクトルが取得できること紫外線源の差動排気機構を有すること分析室内で測定可能であること試料電圧バイアス用電源を付属すること電圧バイアス可能な試料ホルダを付属すること逆光電子分光分析低エネルギー電子銃を有し、加速電圧は5 – 40 Vより広い範囲で可変であること電子線励起の逆光電子分光スペクトルをディジタルデータで取得できること分析室内もしくは超高真空状態の別置分析室内で測定可能であることその他保守のため真空系装置、バルブ等の手動操作、レンズ定数等のパラメータ調整が可能であることトランスファーベッセル容器を一式付属すること装置の運用に必要となる工具一式を付属することX線フィラメント、イオン銃フィラメント、チタンサブリメーションポンプフィラメントの予備を1式付属すること分析室と試料導入室の真空計について、測定子の予備をそれぞれ1式付属することアノード、光電子検出器、中和機構フィラメントの予備をそれぞれ1式付属すること２ データ解析装置 1式データ解析装置は、極表面複合分析装置本体の制御を担うPCとソフトウェア一式、オフラインデータ解析用のPCとソフトウェア一式、データライブラリー等から構成されるものであること。 (株)UNICO UN-800L, MF-100グローブボックス 1式トランスファーベッセルが格納可能なサイドボックスを有し、ステンレス製であること本体ボックス、サイドボックスともにロータリーポンプで1 kPa以下に減圧可能であり、不活性ガスが循環できる構造であること本体ボックス内に照明と圧力自動調節機構を有すること本体ボックス内の露点温度を-60℃以下、酸素濃度を5 ppm以下の感度で測定可能なセンサを備えること不活性ガス純化装置 1式本体ボックス内を循環する不活性ガスの水分や酸素を吸着し、不活性雰囲気を維持する機能を有すること純化装置ガス出口部もしくはグローブボックスガス入口部において、露点温度-60℃以下、酸素濃度5 ppm以下であることグローブボックス本体を純化装置上に設置できるよう、1 m程度の高さを有する床置き式であること吸着触媒は容易に再生可能な構造であることトランスファーベッセル 1式グローブボックスのサイドボックス内に格納可能な大きさであること試料ホルダを封入し、不活性雰囲気が維持できること極表面複合分析装置本体の試料導入室と接続可能であり、不活性雰囲気を維持したまま試料導入が可能な構造を有すること４ 予備観察用顕微鏡 1式予備観察用顕微鏡は、各種画像処理ソフト・記録機能・モニターを一体化した本体、ズームレンズ、高分解能レンズ、電動ステージから構成されるものであること。 以下の仕様を満たすものとしては次の機種があります。 (株)キーエンス VHX-8000, VHX-7020, VHX-7100顕微鏡本体 1式カメラ、各種画像処理ソフト、記録機能、モニターを一体化した構造であること照明の方向を自動的かつ連続的に変化させながら観察が可能であり、指定領域を選択することで自動的に適切な照明を選択できる機能を有すること視野を移動した際に、深度合成をすることなく自動的にフォーカスを追従させる機能を有すること画像と紐付けて照明、明るさ、倍率、深度合成/3D撮影等の撮影設定、各種2D/3D計測の計測点をはじめとする解析条件と解析結果を保存でき、また保存された画像を選択することで、撮影時に前述の撮影・解析条件を再現できる機能を有すること1/1.7型以上のCMOSイメージセンサを有すること撮影画像をR, G, B各画素ともに16 bit階調以上で保存できることレンズ交換時におけるバックフォーカス調整機構を必要としないこと撮影露光時間を1/1000秒単位で変更でき、明るさの微調整が行えること画像撮影に必要となる照明一式を備えること三次元/二次元寸法計測が可能となるソフトウェアを付属することズームレンズ 1式ズーム倍率は20倍から200倍より広い範囲で可変であること全倍率領域にて25.5 mm以上の作動距離を有すること被写界深度はズーム倍率20倍時に30 mm以上、200倍時に0.4 mm以上であること絞り機構を有することカメラ部との接続に必要となるジョイントホルダを備えること高分解能レンズ 1式タレット型で倍率切り替え可能なレンズヘッドであること倍率は20倍から6000倍まで可変であること拡散アダプタ、同軸偏光フィルタ、微分干渉フィルタを付属すること電動ステージ 1式X, Y, Z軸の電動ステージを制御し、顕微鏡制御部および外付けコントローラーから自由に操作できることステージ部は200 mm × 180 mm以上の面積を有し、X, Y軸は±50 mm以上の範囲で、Z軸は40 mm以上移動できることズームレンズを固定するスタンドにカメラが内蔵されており、ズームレンズと対象物の位置を映像で確認できる機能を有すること。 また、映像内で対象物をクリックすることで、オートフォーカスが可能であることズームレンズ固定部は垂直状態から、左60°、右90°まで傾けられること。 また、角度センサを有し、傾斜角度の再現ができること第３ 装置性能確認手法事前に装置性能が仕様を満足するか確認するため、下記データを技術資料の一部として提出すること。 また、分析に必要となる試料は応札する者が準備すること。 疑義が認められた場合、生スペクトルデータの提出を求めるものとする。 また、本規定の内容でデータを提出することが困難である場合、協議の上JIS K 0162:2010に準ずる手法でデータを取得することを認めるものとする。 エネルギー分解能 清浄化された純度99%以上の銀試料を用い、単色化Al Kα線を用いたラージエリア測定において、Ag 3d5/2半値全幅でエネルギー分解能を定義する。 測定面積は装置の標準的な測定条件とし、ピーク位置の前後3 eVのエネルギー位置の信号強度を結ぶように引いた直線バックグラウンドを除去した後、ピーク強度の半値全幅で定義されるものとする。 微小部分析能力knife edge状に加工した試料について、ステージ移動、インプットレンズの走査、もしくはX線走査により光電子スペクトルをedgeに垂直方向にラインスキャンで取得する。 このとき、励起源は単色化Al Kα線とする。 knife edgeを特徴付ける光電子信号強度がプラトー部とエッジ外側部分との信号強度変化量の20 – 80 %の変化に対応する距離を走査方向での空間分解能とする。 また、パラレルイメージングまたはX線走査によるイメージングにより同様の試料を解析した際の空間分解能を定義する。 絶縁物測定能力PET (polyethylene terephthalate)を単色化Al Kα線を用いて測定した際、C 1s スペクトル中のエステル [O-C=O 成分] ピークを用いて半値全幅を定義する。 PETのC 1sスペクトルは直線法もしくはShirley法によりバックグラウンドを除去した後、標準的な4ピークモデルでピーク合成した結果から算出されるものとする。 第４ 付帯事項設置場所にて本装置が正常に動作するように、職員立会いの下、供給者の責任において調整及び動作確認を行うこと。 設置に伴う費用が発生する場合は、供給者の負担で行うこととし、入札額に含めること。 据付前に床振動、音響振動、電磁場の測定を行い、必要であれば装置を安定稼働させるための処置を施すことコンプレッサー、空冷式冷却水循環装置を付属すること。 また、冷却水循環装置は装置本体の操作盤に加え、通信機能により装置制御PCからも運転・停止動作を制御できること電源、コンプレッサー、冷却水、ガスラインの接続とそれに伴う配線・配管は供給者が準備し、稼働できる状態とすること装置の運用に必要となるガス類一式は供給者が準備し、稼働できる状態とすること極表面複合分析装置の製本された説明書を2部、電子データを1部付属すること。 また、周辺機器の説明書を1部付属すること。 それぞれの言語は日本語または英語とする装置の概要、構成などをまとめた来場者向けパネルをA1版サイズで1枚作製すること本詳細仕様書に記載されていない事項についても、運用上、機能上及び構造上具備しなければならない事項、並びに社会通念上必要とされる事項については、供給者の責任で充足すること。 また、疑義のある場合は両者で協議の上、対応することこの仕様書を満たす装置について応札する者は、以下に記す技術資料等を令和３年６月２９日午後５時までに提出すること。 その後、発注者と十分な打ち合わせを行い、仕様を満たす装置であることの確認を得ること。 なお、仕様を満たしていると認められなかったときは当該入札書を落札決定の対象としない機器類のカタログ及び技術仕様書アフターサービス、メンテナンスの体制が十分に整備されていることを示す書類所定の手法により評価した装置性能を示す資料その他、必要に応じ発注者から受注者に提出を求められた補足資料供給者は、本装置が安全かつ有効に使用できるように、納入場所において機器の取扱い及び保守管理に必要なトレーニング及び技術指導を行うこと。 トレーニングの方法、日程については協議の上実施すること装置の保証期間は検収後一年間とする。 ただし、それ以上にメーカ保証があるものはその期間とする。 期間中に動作不良あるいは性能不良等が認められた場合は、速やかに無償にて交換・修理・調整を行なうこと既設の極表面複合分析装置は供給者が無償で引き取ること輸送時に用いた梱包資材類は全て持ち帰ること。 以上