（RE-11986）EUV露光装置立上げ作業【掲載期間：2021-9-14～2021-10-14】

（RE-11986） EUV露光装置立上げ作業【掲載期間：2021-9-14～2021-10-14】 公告期間： ～()に付します。 1．競争入札に付する事項仕様書のとおり２．入札書等の提出場所等入札説明書等の交付場所及び入札書等の提出場所並びに問い合わせ先(ダイヤルイン)入札説明書等の交付方法上記２．(1)に記載の交付場所または電子メールにより交付する。 ただし、交付は土曜,日曜,祝日及び年末年始(12月29日～1月3日)を除く平日に行う。 電子メールでの交付希望の場合は、「 公告日,入札件名,当機構担当者名,貴社名,住所,担当者所属,氏名,電話,FAX,E-Mail 」を記載し、上記２．(1)のｱﾄﾞﾚｽに送信。 交付の受付期限は の17:00までとする。 入札説明会の日時及び場所入札書の提出期限※技術審査がある場合には、別途、技術審査資料の提出期限があるため、入札説明書を確認すること。 開札の日時及び場所請負令和3年9月14日R3.9.14 R3.10.4一般競争入札 下記のとおり〒370-1292(1)(2)(3)記入札公告群馬県高崎市綿貫町１２３３番地令和3年10月20日(水)(3)履行期限(2)件名内容管理部経理・契約課EUV露光装置立上げ作業令和3年11月30日027-346-9265履行場所(月)総合管理棟 第１会議室ＴＥＬ ＦＡＸ 027-346-9684梅里 文11時00分令和3年10月4日令和3年10月20日(水)高崎量子応用研究所高崎量子応用研究所(4)(5)11時00分nyuusatsu_taka@qst.go.jp国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 高崎量子応用研究所国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構量子ビーム科学部門 高崎量子応用研究所管 理 部 長 小柳 大作群馬県高崎市綿貫町１２３３番地R03RE-11986(1)実施しない(4)E-mail：３．競争に参加する者に必要な資格当機構から指名停止措置を受けている期間中の者でないこと。 全省庁統一競争入札参加資格を有する者であること。 当機構が別に指定する誓約書に暴力団等に該当しない旨の誓約をできること。 ４．入札保証金及び契約保証金 免除５．入札の無効入札参加に必要な資格のない者のした入札入札の条件に違反した者の入札６．契約書等作成の要否 要７．落札者の決定方法８．その他その他、詳細については、入札説明書によるため、必ず上記２．(2)により、 入札説明書の交付を受けること。 中に当機構ホームページにおいて掲載する。 以上 公告する。 (2) 前項の誓約書を提出せず、又は虚偽の誓約をし、若しくは誓約書に反することとなったときは、当該者の入札を無効とするものとする。 技術審査に合格し、予定価格の制限の範囲内で、最低価格をもって有効な入札を行った入札者を落札者とする。 (最低価格落札方式)国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 契約事務取扱細則第10条の規定に該当しない者であること。 ただし、未成年者、被保佐人又は被補助人であって、契約締結のために必要な同意を得ている者についてはこの限りでない。 上記問い合わせ先宛てに質問書を提出すること。 なお、質問に対する回答は令和3年9月28日 (火)(2)(1)(2)(3)(4)(1)(1)本入札に関して質問がある場合には(2) 落札決定に当っては、入札書に記載した金額に当該金額の10パーセントに相当する額を加算した金額(当該金額に1円未満の端数があるときは、その端数を切り捨てた金額とする)をもって落札価格とするので、入札者は、消費税に係る課税事業者であるか免税事業者であるかを問わず、見積もった金額の110分の100に相当する金額を入札書に記載すること。 (4)(1) この入札に参加を希望する者は、入札書の提出時に、当機構が別に指定する暴力団等に該当しない旨の誓約書を提出しなければならない。 (3)令和3年9月21日 (火) 11:00までに国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 契約事務取扱細則第11条第１項の規定に該当しない者であること。 EUV露光装置立上げ作業仕様書令和3年9月8日国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構量子ビーム科学部門 高崎量子応用研究所先端機能材料研究部1． 件名EUV露光装置立上げ作業2． 目的及び概要EUV(極端紫外光)露光を用いた量子科学技術研究開発機構(以下、QST)で進めているEUV超微細技術のためのレジスト材料開発の研究を行うに当たり、合成したレジスト材料のレジスト性能評価及び簡易な解像性評価(パターニング)を遂行するため、EUV露光装置の立上げ作業を実施する。 3． 対象装置リソテックジャパン製EUVオープンフレーム露光装置EUVES-7000GC4． 作業内容４．１．作業範囲本作業では以下に示す作業を実施する。 ①EUV光源の位置決め・EQ-10のユニットを床に固定。 ②装置内配線、配管・電気配線、エアー配管。 ・EQ-10用Xeガス配管。 ③基本動作チェック・真空機器動作チェック。 ・Xe配管内フラッシング。 ・EQ-10発光確認。 ・チャンバー排気及び大気開放動作チェック。 ・ウェーハ搬送動作チェック。 ④光軸調整・光源に対し、露光チャンバーのポジション調整。 ・ビームライン角度調整。 上記作業については、QST担当者と協議の上決定する。 また諸事情により、変更の必要が生じた場合は、受注者とQST担当者の間で協議する。 ４．２．作業実施日作業実施日は、契約締結後、QST担当者と打ち合わせの上決定する。 5． 希望納期 令和3年11月30日(火)6． 作業実施場所群馬県高崎市綿貫町1233国立研究開発法人 量子科学技術研究開発機構 高崎量子応用研究所材料科学研究棟213室７．支給物品本作業に必要な工具類の駆動用として電気を支給する。 ８．提出書類作業工程表： 契約後速やかに １部 確認要動作確認作業報告書： 作業終了後速やかに １部 確認要(提出場所)QST高崎量子応用研究所 先端機能材料研究部９．検査条件４．１．作業範囲に定める作業の完了及び以下の内容を確認し検査条件とする。 ①EUV光源の発光確認(発光モニタによる)②パワー計測フォトダイオードへの入射確認(ダイオード出力計測による)③露光動作確認(目視及びレジスト付きウェーハへの露光結果目視による)１０．適用法規・規定等国等による環境物品等の調達の推進等に関する法律(グリーン購入法)１１．特記事項(１)受注者は、QSTが国立研究開発法人であることから、高い技術力及び高い信頼性を社会的に求められていることを認識し、量研機構の規定等を順守し、安全性に配慮し業務を遂行しうる能力を有する者を従事させること。 (２)受注者は異常事態が発生した場合、QSTの指示に従い行動するものとする。 １２．安全管理(１)受注者は労働安全衛生法及びその他の関連法規・規則・QST の規定を順守し、最善の注意による安全管理を行なうこと。 (２)作業計画に際し、綿密かつ無理のない工程を組み、作業の安全確保を最優先とすること。 １３．グリーン購入法の推進(１)本契約において、グリーン購入法(国等による環境物品等の調達の推進等に関する法律)に適用する環境物品(事務用品、OA 機器等)が発生する場合は、これを採用するものとする。 (２)本仕様に定める提出図書(納入印刷物)については、グリーン購入法の基本方針に定める「紙類」の基準を満たしたものであること。 １４．協議本仕様書に関して疑義が生じた場合、あるいは、本仕様書に記載のない事項について作業等の対応を講じる必要が生じた場合、QST 担当者及び受注者双方で協議の上、対処するものとする。 １５．賠償責任受注者が本作業中に機器またはその他の設備に損傷を与えた場合には、QST 担当者にその旨を報告するとともに、その損傷が受注者の過度な過失による場合には、受注者の責任において現状に回復させるものとする。 １６．その他対象装置の不具合等により検査条件を満たすことができない場合は、当該不具合箇所を特定すること。 以上(要求者)高崎量子応用研究所 先端機能材料研究部プロジェクト「EUV超微細加工研究」山本 洋揮