（RE-13565）標準薄膜試料の成膜・制御機構の購入【掲載期間：2021-10-8～2021-10-28】

（RE-13565） 標準薄膜試料の成膜・制御機構の購入【掲載期間：2021-10-8～2021-10-28】 公告期間： ～()に付します。 1．競争入札に付する事項仕様書のとおり２．入札書等の提出場所等入札説明書等の交付場所及び問い合わせ先(ダイヤルイン)入札説明書等の交付方法上記２．(1)に記載の交付場所または電子メールにより交付する。 ただし、交付は土曜,日曜,祝日及び年末年始(12月29日～1月3日)を除く平日に行う。 電子メールでの交付希望の場合は、「 公告日,入札件名,当機構担当者名,貴社名,住所,担当者所属,氏名,電話,FAX,E-Mail 」を記載し、上記２．(1)のｱﾄﾞﾚｽに送信。 交付の受付期限は 17:00までとする。 入札説明会の日時及び場所入札及び開札の日時並びに場所(3)記一般競争入札(1)下記のとおり〒619-0215E-mail：ＴＥＬ(1)R3.10.28令和3年10月8日関西光科学研究所(木津地区)(4)管理棟中会議室 関西光科学研究所(木津地区)実施しないＦＡＸ 0774-71-3072(2)件名島田 真理子入札公告標準薄膜試料の成膜・制御機構の購入R3.10.8管理部長量子ビーム科学部門 関西光科学研究所国立研究開発法人 量子科学技術研究開発機構(木) 令和3年10月28日管理部経理・契約課内容(4)国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 次世代放射光施設整備開発センターnyuusatsu_kansai@qst.go.jp令和4年2月28日0774-71-3023履行場所羽石 明博14時00分購入(2)(3)令和3年11月9日履行期限(火)京都府木津川市梅美台八丁目1番地7宮城県仙台市青葉区荒巻青葉6-6３．競争に参加する者に必要な資格当機構から指名停止措置を受けている期間中の者でないこと。 全省庁統一競争入札参加資格を有する者であること。 当機構が別に指定する誓約書に暴力団等に該当しない旨の誓約をできること。 ４．入札保証金及び契約保証金 免除５．入札の無効入札参加に必要な資格のない者のした入札入札の条件に違反した者の入札６．契約書等作成の要否 要７．落札者の決定方法８．その他その他、詳細については、入札説明書によるため、必ず上記２．(2)により、 入札説明書の交付を受けること。 17:00までに中に当機構ホームページにおいて掲載する。 以上 公告する。 この入札に参加を希望する者は、入札書の提出時に、当機構が別に指定する暴力団等に該当しない旨の誓約書を提出しなければならない。 (4) 令和3年10月19日 (火)令和3年10月22日上記問い合わせ先宛てに質問書を提出すること。 なお、質問に対する回答は(金)本入札に関して質問がある場合には予定価格の制限の範囲内で、最低価格をもって有効な入札を行った入札者を落札者とする。 (最低価格落札方式)(1)(5)(4)(1)(1)国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 契約事務取扱細則第11条第１項の規定に該当しない者であること。 (2)落札決定に当っては、入札書に記載した金額に当該金額の10パーセントに相当する額を加算した金額(当該金額に1円未満の端数があるときは、その端数を切り捨てた金額とする)をもって落札価格とするので、入札者は、消費税に係る課税事業者であるか免税事業者であるかを問わず、見積もった金額の110分の100に相当する金額を入札書に記載すること。 (2)(3)前項の誓約書を提出せず、又は虚偽の誓約をし、若しくは誓約書に反することとなったときは、当該者の入札を無効とするものとする。 (2)(1)(2)(3)国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 契約事務取扱細則第10条の規定に該当しない者であること。 ただし、未成年者、被保佐人又は被補助人であって、契約締結のために必要な同意を得ている者についてはこの限りでない。 標準薄膜試料の成膜・制御機構の購入仕様書１．概要本件は、軟X線ビームラインの技術開発のためのX線磁気円二色性(XMCD)測定の較正に用いる標準薄膜試料の成膜・制御機構を購入するものである。 ２．名称及び数量標準薄膜試料成膜・制御機構 1式(内訳) (１)蒸着装置 １式(２)膜厚モニター １式(３)反射高速電子回折装置 １式３．仕様(１)蒸着装置 1式電子ビーム加熱方式の蒸着源(エイブイシー社 AEV3-set相当品可)で、超高真空３源エバポレーター、制御電源、接続ケーブルで構成され、以下の仕様を満足すること。 ・蒸着物は電子ビーム方式で加熱し、最高で3300℃まで加熱できること・蒸着物は３源まで同時に装着でき、対応試料サイズは、φ2mm、長さ40mm以下であること・真空を破ることなく蒸着物の移動が30mm以上できること・ワーキングディスタンス120〜170mmの時、φ15〜20mm程度の蒸着エリアが確保できること・HV出力が0〜1000V＠300mAであること・内蔵フラックスモニターによる自動蒸着レートコントロールが可能であること・フラックスモニターは、0m〜10nA、0〜100nA、0〜1μA、0〜10μA、0〜100μA、0〜1mA、0〜10mAの７レンジ切り替えが可能であること・蒸着物周辺に冷却水機構を有し、周囲への不要な輻射熱を低減できること・内部シャッター機構を有すること・取り付けフランジはICF70であること・制御電源及び接続ケーブル(5m)を含むこと・冷却部温度異常、HV異常放電、設定値によるエミッションオーバーラン防止のインターロック機能を有すること(２)膜厚モニター １式水晶振動子方式の膜厚計(エイブイシー社ASE-CMLM相当品可)で、センサーヘッド、中空型直線移動機構、膜厚モニターで構成され、以下の仕様を満足すること。 ・センサーヘッドの取り付けフランジはICF70であること・センサーヘッドの最高ベークアウト温度は130℃以上であること・センサーヘッドのフランジ真空側端面からセンサー中心までの長さは270mmであること・中空型直線移動機構によりセンサーヘッドの150mm以上直線移動が可能であること・パソコン(本仕様の範囲外)から制御可能なコントロールユニットを含むこと・対応水晶振動子周波数は6MHz(周波数分解能：0.03Hz)であること(３)反射高速電子回折装置 １式電子銃(アールデック社RDA-005G相当品可)、制御電源(同RDA-005P相当品可)、リモコン及びケーブル、シャッター付きスクリーン(エイブイシー社ASH-4-1及びAVS-4-1相当品可)で構成され、以下の仕様を満足すること。 電子銃・ ビームスポット径は90μm以下であること・ ウェネルトは可変バイアス式であること・ 集束レンズは電磁レンズ式であること・ 偏向レンズはトロイダル電磁レンズ式であること・ ビーム偏向は±8°以上であること・ 取り付けフランジはICF70であること・ 動作圧力は1×10-3Pa以下であること・ 外部磁場の電子線への影響を低減するための磁気シールドが装備されていること・ 加速電圧は最高30 kV以上であること・ エミッション電流は最大80μA以上であること・ フィラメントの動作条件は０〜2Vで最大電流が1.9A以上であること制御電源・リモコン及びケーブル・ バイアス電源は0~480V可変(リップル15Vp-p)であること・ 電源ケーブル及びリモコンケーブルは各5m以上を含むこと・ リモコンを用いて、加速電圧、エミッション電流、フィラメント電流、バイアス電圧、ビーム偏向(X,Y)、フォーカス(Z)の操作が可能であること・ リモコンは3パターン以上の測定条件メモリ機能を有すること・ 高電圧に対するインターロック機能を有すること・ 入力電圧はAC100~240Vに対応していることシャッター付きスクリーン・ ビューポート用シャッターとスクリーン付ホルダーの組み合わせであり、取り付けフランジはいずれもICF114であること４．納期令和4年2月28日５．納入場所宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-11-901国立大学法人東北大学 青葉山東キャンパス 工学研究科総合研究棟9階６．検査条件員数検査・外観検査・寸法検査を行い、合格をもって検査完了とする。 ７．契約不適合責任契約不適合責任については契約条項のとおりとする。 ８．グリーン購入法の推進(１)本契約において、グリーン購入法(国等による環境物品等の調達の推進等に関する法律)に適合する環境物品(事務用品、OA機器等)が発生する場合は、これを採用するものとする。 (２)本仕様に定める提出図書(納入印刷物)については、グリーン購入法の基本方針に定める「紙類」の基準を満たしたものであること。 ９．その他本件において疑義が生じた場合は、量研担当者と協議の上決定すること。 (要求者)部課室名：量子ビーム科学部門 次世代放射光施設整備開発センター高輝度放射光研究開発部 ビームライングループ氏 名：大坪 嘉之