（RE-09816）表面試料準備槽等の製作【掲載期間：2024年9月11日～2024年10月1日】

（RE-09816） 表面試料準備槽等の製作【掲載期間：2024年9月11日～2024年10月1日】 公告期間： ～ ( )に付します。 1．競争入札に付する事項仕様書のとおり２．入札書等の提出場所等入札説明書等の交付場所及び入札書等の提出場所並びに問い合わせ先(ダイヤルイン)nyuusatsu_qst@qst.go.jp入札説明書等の交付方法上記２．(1)に記載の交付場所または電子メールにより交付する。 ただし、交付は土曜,日曜,祝日及び年末年始(12月29日～1月3日)を除く平日に行う。 電子メールでの交付希望の場合は、「 公告日,入札件名,当機構担当者名,貴社名,住所,担当者所属,氏名,電話,FAX,E-Mail 」を記載し、上記２．(1)のｱﾄﾞﾚｽに送信。 交付の受付期限は の17:00までとする。 入札説明会の日時及び場所入札関係書類及び 技術審査資料 の提出期限開札の日時及び場所財務部 契約課 薄井 翼令和6年10月21日(月) 16時00分本部(千葉地区) 入札事務室(4)令和6年10月2日(水) 17時00分(5)(3)実 施 し な いE-mail：(2)令和6年10月1日 (火)〒263-8555 千葉県千葉市稲毛区穴川４丁目９番１号ＴＥＬ 043-206-3014 ＦＡＸ 043-251-7979(4)履行場所 仕様書のとおり(1)(2)内 容(3)履行期限 令和7年3月31日令和6年9月11日国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構財 務 部 長 山農 宏之記(1)件 名 表面試料準備槽等の製作R6.9.11 R6.10.1 製造請負入 札 公 告下記のとおり 一般競争入札３．競争に参加する者に必要な資格当機構から指名停止措置を受けている期間中の者でないこと。 全省庁統一競争入札参加資格を有する者であること。 当機構が別に指定する誓約書に暴力団等に該当しない旨の誓約をできること。 ４．入札保証金及び契約保証金 免除５．入札の無効入札参加に必要な資格のない者のした入札入札の条件に違反した者の入札６．契約書等作成の要否 要７．落札者の決定方法８．その他中に当機構ホームページにおいて掲載する。 以上 公告する。 上記問い合わせ先宛てに質問書を提出すること。 なお、質問に対する回答は令和6年9月26日 (木)その他、詳細については、入札説明書によるため、必ず上記２．(2)により、入札説明書の交付を受けること。 (1)この入札に参加を希望する者は、入札書の提出時に、当機構が別に指定する暴力団等に該当しない旨の誓約書を提出しなければならない。 (2)前項の誓約書を提出せず、又は虚偽の誓約をし、若しくは誓約書に反することとなったときは、当該者の入札を無効とするものとする。 (3)(4)本入札に関して質問がある場合には 令和6年9月18日 (水) 17:00までに(2)(1)技術審査に合格し、予定価格の制限の範囲内で、最低価格をもって有効な入札を行った入札者を落札者とする。 (最低価格落札方式)(2)落札決定に当っては、入札書に記載した金額に当該金額の10パーセントに相当する額を加算した金額(当該金額に1円未満の端数があるときは、その端数を切り捨てた金額とする)をもって落札価格とするので、入札者は、消費税に係る課税事業者であるか免税事業者であるかを問わず、見積もった金額の110分の100に相当する金額を入札書に記載すること。 (2)国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 契約事務取扱細則第11条第１項の規定に該当しない者であること。 (3)(4)(5)(1)当機構の定める契約書(契約金額が500万円以上の場合)もしくは請書(契約金額が500万円未満の場合)を作成するものとする。 (1)国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 契約事務取扱細則第10条の規定に該当しない者であること。 ただし、未成年者、被保佐人又は被補助人であって、契約締結のために必要な同意を得ている者についてはこの限りでない。 表面試料準備槽等の製作仕様書国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構1. 目的と概要本件は、科研費(基盤B)課題「次世代放射光施設の顕微光電子分光で探る表面超構造の電子相関物性」で用いる単結晶および薄膜試料の表面準備槽を製作するものである。 2. 名称及び数量表面準備槽 １式ロードロック装置 １式コンフラット配管部品類 １式3. 納期令和７年３月３１日(月)詳細な日程は、契約後の協議の上決定する。 4. 納入場所宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉468-13GeV高輝度放射光施設(NanoTerasu)内 実験ホール5. 納入条件据付調整渡し6. 検査条件4.納入場所に据付調整後、員数検査、外観検査及び9.試験検査に定める試験検査及び10.提出図書の完納をもって検査合格とする。 7. 共通仕様本仕様書で指定する真空容器は、個別に指定がない限り以下の共通仕様に従うこと。 7.1 座標系本仕様書に添付する参考図及び本仕様書中で指定する座標軸においては、Z方向を鉛直上向きとする。 7.2 超高真空仕様7.2.1 フランジシールポートのシールには、銅ガスケットシールのコンフラットフランジ(以下「ICF規格」という。 )を原則として用いること。 7.2.2 リーク量リーク量は、5E-11 Pa・m3/s以下とする。 7.2.3 真空度計測真空度は量研が支給する次の機器又は相当品を用いて計測する。 設置場所は個別仕様にて指定する。 (1)フルレンジゲージPKR361(PFEIFFER)(2)コントローラーTPG362(PFEIFFER)7.2.4 材料・処理・ 真空容器及び容器内で使用する部品類は真空内で放出ガスの少ない材料を用い、必要に応じて脱脂、電解研磨、純水洗浄などの処理を施すこと。 ・ 真空雰囲気には炭化水素系の汚染履歴が残らない素材・処理方法を用いること。 ・ 素材及び処理方法については内容・工程を確認図(提出図書)に記載すること。 ・ 超高真空到達のためのベーキング(最高 200℃)を経ても変形や損傷がないこと。 7.2.5 ベーキングベーキングの詳細については、別添の「ビームライン・ベーキング要領」に従うこと。 ただし、ベーキングコントローラは貸与する。 7.2.6 到達圧力乾燥窒素充填による大気圧解放後、72時間以内を目途に1E-6 Pa以下に至ることを目標とする。 ただし、ロードロック装置の到達目標は5E-6 Pa以下とする。 7.2.7 配管部の内外径ICFフランジに接続する単管及びベローズの内外径は下表値以上とする。 容器の強度等に問題が生じない程度の厚みを確保すること。 これより細い配管を使用する場合は量研担当者と協議して了解を得ること。 表１ 配管部の内外径リストフランジ名称 内径(mm) 外径(mm)ICF34単管 17 19ICF70単管 39.4 42.7ICF114単管 72.3 76.3ICF152単管 110.3 114.3ICF203単管 165.2 159.2ICF253単管 208.3 216.3ICF70ベローズ 40 48.2ICF114ベローズ 50 59ICF152ベローズ 129 1517.2.8 納品時の締結部の取り扱い本件で製作する各種真空槽(詳細は8.個別仕様欄参照)は、各締結部を7.2.8.1から7.2.8.4に示す処置をした状況で納品すること。 納品箇所で量研担当者による検品前に組み立てを行っても構わないが、その際に必要な工具類は支給しない。 また、ボルト・ナット類を用いて締結する際は潤滑剤の塗布等によるベーキングによる焼き付き防止措置をあらかじめ行うこと。 7.2.8.1 装置間締結部本件で製作する各種真空槽(詳細は8個別仕様欄参照)間の締結部は必要なサイズのICF規格銅ガスケットと必要数のボルト・ナット類を用いて締結すること。 許容リーク量は7.2.2で指定したとおりとする。 7.2.8.2 フランジ類上記締結部以外の 8.個別仕様で記述する各ポートは、全て対応するサイズの ICF フランジ及び ICF 規格ガスケット、ボルト、ナット類により閉塞した状態で納品すること。 フランジは基本的にはブランク型で良いが、試料視認のために設置するビューポートについては硼珪酸ガラス製のビューポート(コスモテック社ICF70VPK相当品。 フランジサイズは各ポートに合わせること)とすること。 7.2.8.3 配管類8個別仕様で記述した各排気装置において、ターボ分子ポンプとドライポンプの間を締結するNW25配管やバルブ類を必要な箇所に設置した状態で納品すること。 7.2.8.4 本仕様書範囲外の製品を接続するポート本仕様書範囲外の製品を接続するポート(7.2.9で指示するゲートバルブ等)については、ICF規格フランジのエッジが傷つくことを防ぐ適切な保護処置をとった状況で納品すること。 保護処置とは、例えば樹脂製フランジとICF規格バイトンガスケットによるポートを閉鎖した状況であるが、詳細は量研担当者と協議して決定すること。 8. 個別仕様8.1 表面準備槽 1式8.1.1 メイン真空容器 1個ICF203フランジを底面及び頂面とし、そこから直立した外径φ203 mmの単管に下記に示す各ポートが溶接されている真空容器である。 これ以外のポートの追加や取り付け角度等の調整に際しては契約後に量研担当者と打ち合わせの上決定すること。 各ポートの位置関係については表２から４および参考図１を参照すること。 ・ 底面はブランクフランジで締結すること。 頂面は 8.3.1 で指示するフランジで締結すること。 ・ 頂面フランジ中心において頂面フランジ面から100 mmの高さを上段試料位置とする。 この試料位置を見込むように、表２に示すICFポートを設置すること。 ・ 同様の定義で頂面フランジ面から200 mmの高さを中段試料位置とする。 この試料位置を見込むように、表３に示すICFポートを設置すること。 ポートM3から5は水平面から20°下側に傾けること。 ・ 同様の定義で頂面フランジ面から400 mmの高さを下段中心位置とする。 この試料位置を見込むように、表４に示すICFポートを設置すること。 ・ ポートU5, U6, M5, M6はビューポートとする。 ・ 8.1.2で指示する架台と締結するための構造を持つこと表２ 上段ポートリスト。 角度は鉛直方向から見て時計回りに定義する(以下同じ)ポート番号 ICFフランジサイズ上段試料位置までの距離 (mm)角度(°)U1 70 140 0U2 70 140 90U3 70 140 135U4 114 150 180U5 70 140 225U6 114 150 270U7 70 140 315表３ 中段ポートリスト。 ポートM3-5は水平面から下向きに20°傾けることポート番号 ICFフランジサイズ中段試料位置までの距離 (mm)角度(°)M1 152 350 45M2 114 140 135M3 70 160 180M4 70 160 225M5 70 160 270M6 70 140 315表４ 下段ポートリストポート番号 ICFフランジサイズ上段試料位置までの距離 (mm)角度(°)U1 114 150 45U2 152 200 135U3 114 150 225U4 203 200 315参考図１：ポートの位置関係説明図。 左から上段、中段、下段の断面図。 8.1.2 架台 １個真空容器及び排気装置、駆動機構を設置する架台であり、以下の機能を有すること。 ・ 各軸所定の精度、再現性を十分満たす剛性をもった構造とすること。 ・ ベーキングによって位置変位、変形しない構造であること。 ・ 粗調整可能な位置調整機構を有すること。 ・ 調整終了後は、粗調機構並びに微調機構は十分な剛性・強度で固定できること。 ・ 架台は床面に十分な強度でアンカー固定できる構造であること。 ・ 必要に応じてアンカー固定を取り外し、架台ごと装置を移動できるようなキャスターを持つこと。 ・ 排気装置本体などのメンテナンスが必要な重量物を容易に取り外し可能な構造とし、必要ならばそのための冶具を有すること。 ・ 本架台上にメイン真空容器を設置した状態で、上段試料位置の高さが実験ホールの床から 1420 mm とすること。 ただし、実験ホールの床高さは必ずしも平坦ではないため、必要に応じて現地測量し、±20 mm以上の高さ調整しろを設けること。 8.1.3 排気装置 1式ターボ分子ポンプ(EDWARDS社STP-301相当品)及びドライポンプ(樫山工業社製NeoDry15G相当品)を組み合わせた排気装置を使用する。 ターボ分子ポンプの設置ポートはU4とする。 排気装置一式の手配及び設置は本仕様書の範囲外である。 8.1.4 真空ゲージ １式共通仕様 7.2.3. 真空度計測に記述したフルレンジゲージ１台をポート U3 に設置すること。 他装置との干渉がある場合はL字配管等を用いて設置方向を変更しても良い。 8.2 ロードロック装置 １式8.2.1 ロードロック容器 １式以下の製品を組み合わせる。 品番は１例であり相当品を認める。 ・ ICF114フランジ付き６方管(エイブイシー社ICF114-6X相当品)・ Oリング窓つきハッチ(エイブイシー社AAD-4相当品)・ ICF114-70変換フランジ：２個・ コールド型真空計(フルレンジゲージPKR361)・ ICF114フランジ用UHVゲートバルブ(VAT社10836-CE44又は10836-CE01)：１UHVゲートバルブは 8.1.試料準備槽のポートU4および ICF114フランジ付き６方管と接続する。 また、圧空動作型のUHVゲートバルブを選択する場合は開閉スイッチおよび電源装置を合わせて納品すること。 動作に用いる圧圧縮空気は施設のものを使用して良い。 8.2.2 試料搬送関係部品 １式ロードロック装置内で試料を複数保持したり、表面準備槽との間を真空を破らずに行き来させたりするために、以下の製品をロードロック装置に設置する・ トランスファーロッド、ストローク500 mm(北野精機KTL-500相当品)：１・ 試料グリップ部品(アールデック社AST-RL-1相当品)：１8.2.3 ロードロック排気装置 １式ターボ分子ポンプ(大阪真空 TG70F-20 相当品)及びドライポンプ(樫山工業社製NeoDry15G 相当品)を組み合わせた排気装置を使用する。 ターボ分子ポンプは ICF114フランジ付き６方管に直接接続する。 排気装置一式の手配及び設置は本仕様書の範囲外である。 8.3 コンフラット配管部品類 １式8.1 試料準備槽で用途を指定しなかったフランジについて 7.2.8.1 で指定したように終端するためのブランクフランジを必要数納品すること。 また、8.1.1 メイン容器の頂面フランジには ICF203-70-34 型クラスターフランジ(コスモテック社 CF203S70/34 相当品)を設置し、ICF34 フランジはそれぞれをブランクにて終端した状態で納品すること。 その他、納品時の各ICFポートの終端処理に不明点がある場合は量研担当者と打ち合わせのうえで決定すること。 9. 試験検査受注者は以下の試験検査を行い、その結果について試験検査成績書等にまとめて提出すること。  員数試験 外観試験 寸法試験 リークチェック ベーキングヒーター通電・絶縁試験試験検査成績書には次の項目を明記すること。 (1)試験内容(2)試験機材名(3)試験時の条件等(4)試験結果(5)合格基準(6)合否判定(7)記録者の氏名(8)承認者の氏名試験にあたり、出荷前試験、現地試験の場所にかかわらず必要に応じて現場写真を求める場合がある。 試験風景をデジタルカメラ等で撮影し提出すること。 9.1. 員数試験員数が揃っていることを目視により確認すること。 組付調整済み又は真空・窒素封入されている箇所に関しては、調整、封入前の確認で代用する場合がある。 9.2. 外観試験外観に打こん、損傷等の異常がないことを目視確認すること。 員数試験に準ずる。 9.3. 寸法試験対象項目については別途協議の上、決定する。 9.4. リークチェックリークテスターを用いて真空容器、真空ダクト等の溶接個所、接続箇所が所定のリーク量以下であることを検査する。 ・プローブ：ヘリウムガス(支給品)・試験方法：ヘリウム真空吹き付け法・リーク量：5×10−11Pa·m3/s以下10. 提出図書a) 印刷物・ 表３に示す図書を印刷物として提出すること。 ・ 使用する言語は日本語とする。 海外機器等の取扱説明書等はこの限りでない。 ・ 印刷物は、原則A4サイズ用紙で提出すること。 ただし、確認図、図表等はこの限りでない。 ・ 印刷物は、原則ファイルに綴じること。 ・ 「完成図書」とは、(ア)～(ク)を印刷して表紙と目次を付してファイルに綴じた物に加え、これらの電子ファイルも併せた物である。 完成図書の大型図面は折りたたんで収納すること。 文字が判読できない縮小図は不可とする。 表３ 提出図書一覧図書名 提出時期 部数(ア) 確認図 製作開始前 3(イ) 試験検査要領書 試験検査の前 3(ウ) 打合せ議事録 実施の都度 3(エ) 試験検査成績書 試験検査の都度 3(オ) 完成図 納入時 3(カ) 納入品目表 納入時 3(キ) 完成図書 納入時 3b) 電子ファイル表３に示す提出図書は、特記なき限り、次の電子可読形式ファイルで提出すること。 ・ 3D-CAD：step.及びpdf. (2) CADファイル以外：pdf. ・ 電子ファイルの記録メディアはCD-R又はDVD-Rとする。 ・ 数量は1枚とする。 ・ CAD ファイルは周辺機器との干渉や取り合い等の確認のためにその使用を制限した上で他社と共有する場合がある。 ・ 提出前に最新定義ファイルに更新されたウィルス検知ソフトでウィルスチェックを行うこと。 ・ 記録メディアのレーベル面には、次の内容を直接印刷又は不滅インクによる手書きで明記すること。 1) 件名2) 受注者名3) ウィルス検知ソフト名(バージョンを含む)4) データ書き込み日5) ウィルスチェック日(提出場所)国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 NanoTerasuセンター高輝度放射光研究開発部 ビームライングループ11. 支給・貸与品(1) 貸与品名ベーキングコントローラ 1式(2) 場所次世代放射光施設(NanoTerasu)。 ただし、引渡しにかかる費用は受注者の負担とする。 (3) 時期詳細な日程は、契約後の協議で決定する。 12. 機密保持受注者は、本品の製作にあたり、発注者から知り得た情報を厳重に管理し、本業務遂行以外の目的で、受注者及び下請会社等の作業員を除く第三者への開示、提供を行ってはならない。 ただし、あらかじめ量研担当者の了承を得た場合にはこの限りでない。 13. 契約不適合責任契約不適合責任については契約条項のとおりとする。 14. グリーン購入法の推進a) 本契約において、グリーン購入法(国等による環境物品等の調達の推進等に関する法律)に適合する環境物品(事務用品、ＯＡ機器等)が発生する場合は、これを採用するものとする。 b) 本仕様に定める提出図書(納入印刷物)については、グリーン購入法の基本方針に定める「紙類」の基準を満たしたものであること。 15. 特記事項受注者は、本仕様書に関する前提事項として別添資料「次世代放射光施設ビームライン機器共通事項」を原則遵守すること。 ただし、別途指示等が本仕様書に明記されている場合にはそれに従うこと。 16. その他本件において疑義が生じた場合は、量研担当者と協議の上決定すること。 (要求者)部課室名：NanoTerasuセンター ビームライングループ氏 名：大坪 嘉之