（RE-08150）ビーム診断ライン用X線取り出しアブソーバの整備【掲載期間：2026年8月4日～2026年8月27日】

（RE-08150） ビーム診断ライン用X線取り出しアブソーバの整備【掲載期間：2026年8月4日～2026年8月27日】公告期間： ～()に付します。 1．競争入札に付する事項仕様書のとおり２．入札書等の提出場所等入札説明書等の交付場所及び入札書等の提出場所並びに問い合わせ先(ダイヤルイン)nyuusatsu_qst@qst.go.jp入札説明書等の交付方法上記２．(1)に記載の交付場所または電子メールにより交付する。 ただし、交付は土曜,日曜,祝日及び年末年始(12月29日～1月3日)を除く平日に行う。 電子メールでの交付希望の場合は、「 公告日,入札件名,当機構担当者名,貴社名,住所,担当者所属,氏名,電話,FAX,E-Mail 」を記載し、上記２．(1)のｱﾄﾞﾚｽに送信。 交付の受付期限は の17:00までとする。 入札説明会の日時及び場所入札関係書類及び 技術審査資料 の提出期限開札の日時及び場所令和8年8月4日国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構財務部長 服部 雅彦記(1)件名ビーム診断ライン用X線取り出しアブソーバの整備R8.8.4 R8.8.27 製造請負入札公告下記のとおり 一般競争入札(4)履行場所 仕様書のとおり(1)(2)内容(3)履行期限 令和10年1月18日E-mail：(2)令和8年8月27日(木)〒263-8555 千葉県千葉市稲毛区穴川４丁目９番１号ＴＥＬ 043-206-6262 ＦＡＸ 043-251-7979(4)令和8年8月28日 (金) 17時00分(5)(3)実施しない財務部 契約課 下福 真治令和8年9月14日 (月) 14時00分本部(千葉地区) 入札事務室３．競争に参加する者に必要な資格当機構から指名停止措置を受けている期間中の者でないこと。 全省庁統一競争入札参加資格を有する者であること。 当機構が別に指定する誓約書に暴力団等に該当しない旨の誓約をできること。 ４．入札保証金及び契約保証金 免除５．入札の無効入札参加に必要な資格のない者のした入札入札の条件に違反した者の入札６．契約書等作成の要否 要７．落札者の決定方法８．その他中に当機構ホームページにおいて掲載する。 以上 公告する。 (1)国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 契約事務取扱細則第10条の規定に該当しない者であること。 ただし、未成年者、被保佐人又は被補助人であって、契約締結のために必要な同意を得ている者についてはこの限りでない。 (2)落札決定に当っては、入札書に記載した金額に当該金額の10パーセントに相当する額を加算した金額(当該金額に1円未満の端数があるときは、その端数を切り捨てた金額とする)をもって落札価格とするので、入札者は、消費税に係る課税事業者であるか免税事業者であるかを問わず、見積もった金額の110分の100に相当する金額を入札書に記載すること。 (2)国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 契約事務取扱細則第11条第１項の規定に該当しない者であること。 (3)(4)(5)(1)当機構の定める契約書(契約金額が500万円以上の場合)もしくは請書(契約金額が500万円未満の場合)を作成するものとする。 上記問い合わせ先宛てに質問書を提出すること。 なお、質問に対する回答は令和8年8月21日(金)その他、詳細については、入札説明書によるため、必ず上記２．(2)により、入札説明書の交付を受けること。 (1)この入札に参加を希望する者は、入札書の提出時に、当機構が別に指定する暴力団等に該当しない旨の誓約書を提出しなければならない。 (2)前項の誓約書を提出せず、又は虚偽の誓約をし、若しくは誓約書に反することとなったときは、当該者の入札を無効とするものとする。 (3)(4)本入札に関して質問がある場合には 令和8年8月17日 (月) 17:00までに(2)(1)技術審査に合格し、予定価格の制限の範囲内で、最低価格をもって有効な入札を行った入札者を落札者とする。 (最低価格落札方式)ビーム診断ライン用X線取り出しアブソーバの整備仕様書国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構1.1. 目的本件は、国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構(以下、「QST」という。 )が運用するNanoTerasuにおいて、加速器ビーム診断用ビームラインに設置した3極ウィグラーからのX線を取り出して用いるためのアブソーバなど真空機器を整備するものである。 1.2. 仕様範囲① X線取り出し用アブソーバの製作 ：１個② ゲートバルブ保護用アブソーバの製作 ：１個③ X線取り出し用真空ダクト類の製作 ：１式④ イオンポンプ及び真空ゲージ類の調達 ：１式⑤ 上記機器類の据え付けアライメント及び立ち上げ作業 ：１式 一部の作業は、NanoTerasu蓄積リングトンネル内で行われる。 作業場所が放射線管理区域であることに留意すること。 本案件を遂行するために必要な資材(測量機器等含む)は受注者が用意すること。 また、機器設計及び据え付け作業の確認のために、受注者は1回以上作業場所の現地確認を行うものとする。 1.3. 納入期限令和10年1月18日(火)詳細なスケジュールは、契約後に打ち合わせの上決定する。 NanoTerasu の蓄積リング運転停止期間中に作業を完了させなければならない。 1.4. 納入場所宮城県仙台市青葉区荒巻青葉468-1NanoTerasu内の指定する場所1.5. 検査条件物品製作段階にて第 3 節に記載した項目について試験を行うこと。 事前に試験検査要領書を提出しQST担当者の確認を得ること。 試験検査要領書に基づき試験を実施し、試験検査成績書を作成・提出すること。 試験には必要に応じてQST担当者が立会いをする。 1.6. 保管条件物品製作後、納入までの保管は、室温5℃〜40℃の室内で、結露しないという保管条件下で梱包を施すこと。 1.7. 契約不適合責任契約不適合責任については、契約条項のとおりとする。 1.8. 提出図書以下の表に示す書類又は提出物を日本語で作成して提出すること。 図書名 提出時期 部数① 製作工程表 契約後速やかに 1部② 契約仕様書 契約後速やかに 1部③ 打ち合わせ議事録 実施の都度 1部④ 各種構造確認図及び全体確認図製作前 1部⑤ ミルシート(無酸素銅及びアルミ合金)製作前 1部⑥ 試験検査要領書 試験前 1部⑦ 試験検査成績書 納入時 1部⑧ 各種製作図面(決定図) 納入時 1部⑨ 完成図書 納入時 1冊受注者は、QSTによる④の承認の後、物品製作を開始するものとする。 受注者は適宜QSTの要求に応じて指示された箇所の構造確認図を提出するものとする。 また、全体確認図については、3D-CADファイル(STEP形式)及び2D-CADファイル(DXF形式)も合わせて提出すること。 提出されたCADファイルは、周辺機器との干渉や取り合いを確認するために利用される。 CADファイルは本プロジェクトのみに利用を制限した上で、関係する他の会社に渡すことがあるため、必要に応じて、支障のない総合図用のファイルを提出すること。 ①～⑧の提出図書をファイルに綴じ、表紙と目次をつけたものを⑨の完成図書として1冊提出すること。 A4では文字が判読できない縮小図になる場合は、大型図面としA4に折り畳んで提出すること。 文字が判読できない縮小図は不可とする。 全ての書類の電子ファイルをCD-R などの記録媒体に収めたものを上記の完成図書と共に提出すること。 (提出場所)宮城県仙台市青葉区荒巻青葉468-1国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構NanoTerasuセンター 高輝度放射光研究開発部 加速器グループ1.9. 支給品支給する物品のリストを下表に示す。 表: 支給品リスト品名 数量 支給時期① ICF114オールメタルハンドゲートバルブ 1台 工場組付け前② ICF70オールメタルアングルバルブ 1台 工場組付け前支給場所: NanoTerasu内の指定する場所1.10. 貸与品NanoTerasuでの現地作業時に貸与する物品のリストを下表に示す。 貸与品はQST職員の指示に従って利用するものとする。 表: 貸与品リスト品名 数量 備考① 窒素ガスボンベ 1式 使用したガスは支給とする② ヘリウムガスボンベ 1式 使用したガスは支給とする③ 移動式排気ポンプユニット 1台④ ヘリウムリークディテクタ 1台⑤ ベーキング用ヒーターコントローラ 1式⑥ 建屋内クレーン 1式⑦ NEGポンプ用制御装置 1式⑧ 水用電気伝導率計 1式⑨ ベーク用リボンヒータ、熱電対、温度ロガー 1式⑩ レーザートラッカー 1式1.11. 品質管理本品の製作に係わる設計・製作・据付等は、全ての工程において、以下の事項等について十分な品質管理を行うこととする。 (1) 管理体制(2) 設計管理(3) 外注管理(4) 材料管理(5) 工程管理(6) 試験・検査管理(7) 不適合管理(8) 記録の保管(9) 重要度分類(10) 監査※全て網羅しなくとも可。 受注者から品質保証計画書を提出させて確認することでも可。 1.12. 適用法規・規格基準本品の設計・製作・試験検査にあたっては、以下の法令、規格、基準等を適用又は準用して行うこと。 (1) 労働安全衛生法(2) 日本産業規格(JIS)(3) その他受注業務に関し、適用又は準用すべき全ての法令・期間・基準等1.13. 知的財産権知的財産権については、別紙-1「知的財産権特約条項」に定めたとおりとする。 1.14. 機密保持受注者は、本品の製作にあたり、発注者から知り得た情報を厳重に管理し、本業務遂行以外の目的で、受注者及び下請会社等の作業員を除く第三者への開示、提供を行ってはならない。 ただし、あらかじめQST担当者の了承を得た場合にはこの限りでは無い。 1.15. グリーン購入法の推進(1) 本契約において、グリーン購入法(国等による環境物品等の調達の推進等に関する法律)に適用する環境物品(事務用品、OA 機器等)が発生する場合は、これを採用するものとする。 (2) 本仕様に定める提出図書(納入印刷物)については、グリーン購入法の基本方針に定める「紙類」の基準を満たしたものであること。 1.16. 協議本仕様書について疑義が生じた場合は、QST担当者と協議の上、その決定に従うものとする。 機器構成を含む詳細については、QST担当者の指示に従うこと。 1.17. 権利の帰属本仕様書によって製作されたハードウエア、図面を含む著作物の著作権は、QSTに帰属するものとする。 資料等から波及する特許の行使権は、発注者に帰属する。 1.18. 技術打合せ工程、詳細設計及び試験等に関する技術打合せを、必要に応じて、QST担当者の指示する日時・場所にて行い、受注者は1名以上の設計担当者(技術者)が出席すること。 打合せ時の使用言語及び技術資料、議事録の使用言語は日本語とする。 1.19. その他故障や不良等が発生した場合には速やかな対処が可能であること。 また、原因と対処方法を速やかにQSTに報告すること。 2. 技術仕様2.1. 概要NanoTerasuのCell01セクションに設置される3極ウィグラー(仕様外)からのX線を取り出して利用するための X 線取り出し真空機器を製作し、指定する場所に設置すること。 本件で調達する機器の概要図を図１に示す。 機器の設置場所は NanoTerasu 蓄積リングトンネル内である。 設置予定場所の平面図(参考図)を図２に示す。 予定場所近傍には加速器が設置されているため、機器干渉が発生しないように本仕様に定める機器を設計すること。 機器干渉の有無を確認するため、受注者は機器製作に先立って詳細な2D及び3Dの製作図面を提出すること。 機器の寸法の詳細に関して、必要に応じて打ち合わせによって決定する。 VATオールメタルハンドバルブ(icf114)及び粗排気ポートに接続されるオールメタルアングルバルブ(icf70)は支給するが、それ以外の物品(真空ゲージやポンプ、ケーブル、冷却配管など)については受注者が用意すること。 図１：X線取り出し真空機器の概要図。 図中寸法などは参考とする。 図２：蓄積リングトンネル内Cell01セクション設置予定平面図。 既設のicf70バルブを取り合い点として機器設置を行う。 2.2. 一般仕様2.2.1 真空装置仕様① 本仕様の真空容器は1e-7 Pa 以下の超高真空圧力で使用するため、それに応じた製作工程を検討すること。 ② 真空チェンバーの板厚は2～3 mm を基本とする。 ③ 特に指示しない真空チェンバーの材質はSUS304とする。 ④ 真空チェンバー及び部品の製作・組立ては、洗浄後の工程においては、溶接組立、試験・検査、梱包も含め、クリーンルーム(JIS B 9920 クラス7)相当で行うこと。 ⑤ 許容リーク量は1e-11 Pa・m3/s(フード法、5 分間保持)以下とする。 ⑥ ベーキングは250 ℃で48時間保持を基本とするが、一部装置については150度以下とする。 詳細は別途打ち合わせによって決定する。 原則としてシースヒーターあるいはプレートヒーターを採用すること。 ただし、当該ヒーターが設置できない箇所についてはリボンヒーター(貸与する)の使用を認める。 ⑦ 真空フランジの溶接による取り付け誤差は特に指定なきものについて±0.5 mmとする。 ⑧ タップ穴、ボルト穴の加工誤差は±0.2 mmとする。 ただし、真空フランジについてはJIS規格に従うこと。 ⑨ 超高真空部分と水冷却部分との間に溶接等の接合部が存在しないこと。 また、冷却水路と本体部とのクリアランスは5 mm以上設けること。 ⑩ 各真空装置部にはその軸芯を示すケガキ線をいれること。 ⑪ 超高真空機器の組立・運搬の際は、真空又は乾燥した環境下に保持されなければならない。 銅製部品の含まれる機器については、特に注意すること。 ⑫ 真空チェンバー内面は超高真空対応の処理(電解研磨処理、洗浄、清浄度管理)を施すこと。 ⑬ 真空計や真空ポンプのコネクタ取合い部は、ケーブルの曲げ弾性等による負荷がかからないような構造・ケーブル配線とすること。 ⑭ 電磁弁及びリミットスイッチ等の部品の選定には耐放射線性を考慮し、日本において容易に入手可能なものであること。 2.2.2 冷却水配管仕様① 配管類の接続は金属製食い込み継手(以下「Swagelok」という。 )を用いること。 ② リングトンネル内は特に指定しない限り金属配管(基本的に SUS304)とすること。 ③ 最高使用圧力は1 MPaとすること。 ④ 各機器への枝配管の接続には、基本的にSwagelokを使用すること。 他の接続方法を採用する際にはQST担当者の承認を得ること。 ⑤ 各機器への枝配管において、原則として16 mm以下はミリ基準の配管を、3/4”以上はインチ基準の配管を使用すること。 ⑥ 金属フレキホースを使用の際は、機器の駆動方向に留意し、継手に負荷のかからないようにすること。 ⑦ 蓄積リングの冷却水循環系は純水(電気伝導率1 μS/cm以下)を使用しているため、配管内の清浄度管理を徹底させること。 例えば、ノンオイル加工で切断する、溶接を行う際にはバックシールで配管内の酸化を防止する、酸洗した場合には酸が残らないように純水等で充分に洗浄し窒素ガスブローをする、等を実施すること。 ⑧ 蓄積リングの冷却水温度は25度である。 また、機器には 5 L/min の流量を流すことを想定している。 母管の送り・還り圧は0.8 MPa・0.2 MPa 程度である。 2.2.3 圧空配管仕様① 配管類の接続はSwagelokを用いること。 ② リングトンネル内は全て金属配管とすること。 ③ 最高使用圧力は0.8 MPaとすること。 2.2.4 アライメント① 機器のアライメントはレーザートラッカー及びWILD 製TM5100相当の精度を有するトランシットを使用すること。 2.3. 機器詳細仕様2.3.1 X線取り出し用アブソーバ① 構造図(参考)を図３に⽰す。 無酸素銅(C1020)のマスク部、アルミニウム合⾦(A5052)の窓部、及び上流側のX線取り出し窓取り付けダクトと接続されるICF114 フランジ(SUS304)から構成される。 ② 異種材料部品の接合は、HIP(Hot Isostatic Pressing:熱間等⽅圧加圧)にて⾏うこと。 ただし、マスク部(C1020)と icf114 フランジ(SUS304) の接合は、電⼦ビーム溶接(EBW)による接合でもよい。 ③ HIP接合後におけるマスク部開⼝(1 mm× 5 mm)と窓部開⼝(φ5)の中⼼位置が±0.2 mm以内であること。 ④ マスク部は、窓部に照射する放射光X線ビームの⼤きさを、1 mm (H)×5 mm (V)に制限するためのマスクである。 遮断した放射光X線がもたらす熱を除去するために冷却⽔路を設けること。 冷却⽔路に外部の⽔配管と取り合うオスコネクタ(Swagelok B-10M0-1-4RT相当品、数量2個、納⼊範囲に含む)を取付けるためのタップ⽳(Rc 1/4、2箇所)を設けること。 同じく⽔路に沈みプラグ(真鍮製、数量1個、納⼊範囲に含む)を取付けるためのタップ⽳(Rc 1/4、1箇所)を設けること。 ⑤ 上流からの偏向磁⽯及び3極ウィグラーからの放射光をテーパー部で受けるため、マスク部上流側開⼝は⽔平⽅向 48 mm, 垂直⽅向 20 mm 程度とする。 icf114フランジとの接合後もこの開⼝を確保できるようにすること。 ⑥ 開⼝中⼼に対するフランジの取り付け精度は±0.2 mm以下であること。 ⑦ 窓部は、放射光X線ビームを超⾼真空から⼤気中に取出すための窓である。 窓厚は4mm程度、窓開⼝はφ5とし、表⾯粗さは⼤気側、真空側ともに鏡⾯仕上げとすること。 ⑧ 窓が吸収した放射光X線がもたらす熱を除去するために冷却⽔路を設けること。 冷却⽔路に外部の⽔配管と取り合うためのタップ⽳(Rc 1/4、 2箇所)を設けること。 外部の⽔配管との取合いのために、六⾓アダプタ(アルミ合⾦製、雄ネジ部R1/4、雌ネジ部Rc1/4、数量2個)とオスコネクタ(Swagelok SS-10M0-1-4RT相当品、数量2個)を納⼊すること。 同じく⽔路にプラグ(アルミ合⾦製、数量１個、納⼊範囲に含む)を取付けるためのタップ⽳(Rc 1/4 1箇所)を設けること。 ⑨ 外観で確認できる場所にマスク部開⼝(1 mm×5 mm)中⼼軸を⽰すケガキ線(⽬標精度±0.2 mm以下)を⼊れること。 ⑩ レーザートラッカーを⽤いたアライメントが可能なように、フランジ上部にターゲットポスト⽤⽳(φ4H7)を設けること。 ⑪ トラッカーターゲットとマスク部開⼝(1 mm×5 mm)中⼼の位置の差を測定し、記録しておくこと。 2.3.2 ゲートバルブ保護用アブソーバ① 構造図(参考)を図４に⽰す。 icf114フランジに対して、圧空可動式アブソーバが設置される。 アブソーバ受光体の材質は、無酸素銅(C1020)とする。 ② アブソーバは放射光軸上に挿⼊、及び軸上から退避できるように、溶接ベローズにより上下駆動できる構造とすること。 フランジには、アブソーバの回転⽅向等が確認できるケガキ線などのマーキングを設けること。 ③ 挿⼊、退避のための上下駆動は圧空シリンダーにより⾏い、 挿⼊・退避の切り替えは⼿動弁で操作するものとする。 ④ 上下駆動のストロークは、30 mm 以上とすること。 ⑤ 上下駆動のための直動ガイド機構を設けること。 ⑥ 挿⼊状態及び退避状態の各々においてアブソーバ受光体の位置を固定するための機械的なロック機構を設けること。 ⑦ 挿⼊及び退避状態のステータスを現地で⽬視確認するための表⽰器を取り付けること。 ステータス状態の外部への出⼒は不要である。 ⑧ アブソーバ受光⾯での放射光パワー密度を低減させるため、受光⾯は放射光軸に対して 20°±0.5°傾け、斜⼊射で受けるものとする。 また、受光部からの散乱 X線を受ける遮蔽部を下部に設けること。 結果として、楔形でくり抜いたような形状となる(図４参考)。 受光⾯のサイズは、50 mm(⽔平)×30 mm(奥⾏として)程度である。 ⑨ ⽔冷のために、2重管構造の⽔路を設けること。 ⽔路径φ12に対して、外径 10 mm程度、 内径 8 mm 程度の SUS パイプが挿⼊される。 アブソーバ挿⼊、退避の際に上下駆動を吸収するための⾦属製フレキホースに接続できるようにすること。 ⽔路の詳細は、別途打合せの上、決定する。 ⑩ ワイヤーカット等放電加⼯した部品の表⾯仕上げとして、電解研磨を実施すること。 各部品を溶接で組み⽴てた後に、電解研磨及び脱脂洗浄することは困難であるため、洗浄後の部品を汚染しないように⼗分注意すること。 ⑪ アブソーバ挿⼊状態において光軸とアブソーバ中⼼が±0.2 mm以下(⽬標)の精度で⼀致するように上下機構を調整すること。 ⑫ 上下駆動の動作時間を2~3秒とすること。 ⑬ レーザートラッカーを⽤いたアライメントが可能なように、ターゲットポスト⽤⽳(φ4H7)を設けること。 ⑭ トラッカーターゲットとアブソーバ中⼼の位置の差を測定し、記録しておくこと。 2.3.3 icf70-114変換ベロウ① 参考図を図５に⽰す。 両端フランジ間距離は160 mm程度とする。 ② 溶接べロウを⽤いること。 2.3.4 GV保護アブソーバ取り付けダクト① 参考図を図6に⽰す。 上部 icf114 フランジ部にはゲートバルブ保護⽤アブソーバが設置される。 また、icf70フランジ部にはSIP付NEGポンプ(NEXTorrZ200, 仕様内)が取り付けられる。 ② ポンプ本体が直接放射光から⾒えないように光軸中⼼から icf70 フランジ部までの⻑さを決めること。 上下流のicf114フランジの⾯間距離は220 mm程度とする。 また、上流側フランジとアブソーバ中⼼の光軸に沿った距離は 115 mm程度とすること。 2.3.5 X線取り出しアブソーバ取り付けダクト① 参考図を図７に⽰す。 3つの icf70 ポートにはNexTorrZ200(仕様内), コールドカソードゲージ(ミラプロ社製 CCTG110S, 仕様内),粗排気ポート⽤オールメタルアングルバルブ(仕様外)が取り付けられる。 ② 2つのicf114ブランクフランジポートを⽤意すること。 ③ 上下流のicf114フランジの⾯間距離は450 mm程度とする。 2.3.6 真空ダクト支持架台① 図１に⽰すようにicf114 VATオールメタルゲートバルブ(仕様外)及びその上下流のダクトを下から⽀持する架台を製作すること。 ② 床⾯から光軸⾼さを 1200 mm とすること。 ③ 架台には必要に応じて位置調整機構を設け、GV保護アブソーバ中⼼及びX線取り出しアブソーバ中⼼を光軸に対してアライメントできるようにすること。 位置調整範囲は⽔平・垂直・光軸⽅向にそれぞれ±10 mm程度以上とする。 ④ ⽀持架台の個数については指⽰しないが、変換ベロウはじめダクト類に過度な荷重がかからないようにすること。 2.3.7 イオンポンプ及び真空ゲージ類以下に⽰す物品の調達を⾏うこと。 ケーブル類も仕様範囲内である(数量は 1 個あたりである)。 リングトンネル内で配線されるケーブル類は可能な限り難燃性エコケーブルを使⽤すること。  コールドカソードタフゲージ CCTG110S (株式会社ミラプロ社製)(相当品可)：1個 測定レンジ：1e-8 Pa ~ 0.1 Pa icf70 ポート メタルOリングシール 圧⼒信号を電圧出⼒できること(0~10 V, 2ch) コントローラ外形：幅108.3 mm, ⾼さ 128.5 mm, 奥⾏き 230 mm 測定⼦・コントローラ接続ケーブル：⻑さ25 m(必要に応じて延⻑ケーブルを⽤いても良い) SIP/NEGポンプ saes NEXTorr Z200(相当品可) ：2個 スパッタリングイオンポンプ機能を備えた⾮蒸発型ゲッターポンプであること。  icf70 ポート ⽔素排気速度 290 l/s 程度 H2O排気速度 180 l/s 程度 CO 排気速度 140 l/s 程度 重量 2.2 kg 程度 SIP⾼圧ケーブル：⻑さ 25 m (必要に応じて延⻑ケーブルを⽤いても良い) SIPコントローラ Agilent X3602-64021(相当品可) ：2個 +5 kV印加可能 HVコネクタ：SHV タッチスクリーンディスプレイ搭載 ラックマウントサイズ：4U 1/4 幅 重さ：2 kg 程度2.4 機器の据え付けアライメント及び立ち上げ作業2.4.1 受注者工場における組付けNanoTerasuの蓄積リング停⽌期間は限られており、迅速に作業を完結させなければならない。 NanoTerasu現場作業に先⽴って、受注者は⾃社⼯場において各機器を締結し、ヘリウムリーク試験及びベーキングを⾏った上で、各機器が締結された状態で NanoTerasu に機器搬⼊するものとする。 この際、icf114 VATオールメタルゲートバルブ及び粗排気ポートに接続されるicf70オールメタルアングルバルブは⽀給する。 ① アライメント基準はフランジ中⼼とし、⼯場内で設けた仮想光軸基準に対して±0.2 mm以下(⽬標)の精度で各機器の組付けを⾏うこと。 ② ベーキング前後でヘリウムリーク試験を⾏いリーク量が 1E-11 Pa m3/s 以下であることを確認すること。 2.4.2 現地における組付け① 社内で組み上げた真空機器類を NanoTerasu に搬⼊し設置すること。 取り合い点となる icf70 ゲートバルブには偏向電磁⽯からの放射光を受け⽌めるための⽔冷フランジ及びオールメタルアングルバルブが取り付けられている。 作業に先⽴ってこれらを取り外すこと(取り外して露出したゲートバルブを取り合い点として真空機器を設置する)。 この際、冷却⽔の噴出及び蓄積リングへの⼤気突⼊を避けるように細⼼の注意を払って作業を⾏うこと。 現地作業⼿順は事前にQST担当者と打ち合わせによって決定する。 ② 真空ダクト⽀持架台で保持した真空機器を、変換ベロウを介してゲートバルブと接続すること。 接続後にレーザートラッカーあるいはトランシットによりアライメントを⾏い、光軸に対して±0.2 mm以下(⽬標)の精度で機器を設置する。 アライメントの⼿法含む詳細については、契約後打ち合わせによって決定する。 ③ ポンプ及びゲージコントローラを内周通路 Rack-Vac-C01 の指定する箇所に設置し、蓄積リングトンネルからラックまでのケーブル配線作業を⾏う。 配線ルートは図８に⽰した通りである。 蓄積リングCell01電磁⽯D架台下の真空⽤セルダクトを通して内周通路までケーブルを通し、出⼝近傍のラックに接続する。 ④ ゲージコントローラの圧⼒信号を読み出すための信号線をPLCと接続すること。 接続先の詳細は別途指⽰する。 ⑤ 全ての真空機器を締結後、ベーキング及びヘリウムリーク試験を⾏い、超⾼真空⽴ち上げを⾏う。 ⑥ ベーキング後に機器の再アライメントを⾏うこと。 この際、X線取り出しアブソーバの開⼝中⼼を光軸と±0.2 mm以内で⼀致させることを優先し、必要に応じてGV保護アブソーバの光軸⾼さを調整する。 ⑦ ⽔冷配管を⾏うこと。 機器を設置する際に取り外した既設の⽔冷フランジの⽔冷配管を取り合いとする。 GV 保護アブソーバと X 線取り出しアブソーバを直列に接続すること。 機器を接続後、窒素ガスとスヌープを⽤いた耐圧(1.0 MPa)漏洩(0.8 MPa)試験を⾏うこと。 試験合格後、⼗分なフラッシングを⾏ったうえで電気伝導率測定を⾏い、1 μS/cm以下となることを確認すること。 ⑧ 圧空配管を⾏うこと。 配管の材質はアルミとする。 図 9 に⽰すように蓄積リングセル01A架台下の圧空⽤カプラから取り合うこと。 配管終了後に耐圧(0.8 MPa)漏洩試験(0.5 MPa)を実施し、1時間保持の上減圧が5%以下であることを確認すること。 3. 試験3.1. 受注者工場での試験各製作⼯程において以下の試験を⾏うこと。 事前に試験の内容をまとめた試験検査要領書を提出し、QST担当者の確認を得ること。 試験の結果を速やかに試験検査成績書にまとめ、QST 担当者の確認を得ること。 洗浄後の製品、部品の試験の環境は、クリーンルーム(JISB 9920 クラス7 相当の清浄度)とすること。 試験に必要な機器、消耗品(ボルト等)のうち、貸与品に記載のない機器、物品については、全て受注者にて準備すること。  材料検査各部品の材質が適⽤ JIS 値⼜は指定材料であることをミルシートなどにより確認すること。 材料確認に⽤いた資料を提出すること。  外観試験⽬視により、外観(特に真空内⾯、真空シール⾯)に変形、キズ、ヒビ割れ等の⽋陥、油分、ゴミ等の付着及び腐⾷がないことを確認すること。  ⼨法試験主要⼨法が指定許容差内であることを、三次元測定器などを⽤いて確認すること。 ⼨法測定箇所は、公差を⼊れて図⾯に記載すること。  冷却⽔路耐圧・漏洩試験冷却⽔路部をN2 ガスで1 MPa まで加圧し、⽔路に変形がないこと、スヌープ等を⽤いて漏れがないことを確認すること。 またN2 ガスで0.8 MPa まで加圧後、5 分間保持し、漏れがないことを確認すること。  駆動試験ベーキング前後において、GV保護アブソーバの真空引きを⾏った状態で動作確認すること。 動作の繰り返しは10回とし、各回で駆動がスムーズであること、開閉状態の表⽰に問題がないこと、挿⼊時の位置の再現性を確認し記録すること。 ⾼さ⽅向については、再現性が±0.2 mm 以内でなければならない。 また、リークがないことも確認すること。  リーク試験各機器を締結後、ベーキング前後でヘリウムリーク試験を⾏いリーク量が 1E-11 Pam3/s 以下であることを確認すること。 3.2. 現地での試験 リーク試験各機器を締結後、ヘリウムリーク試験を⾏いリーク量が 1E-11 Pa m3/s 以下であることを確認すること。  超⾼真空試験ベーキング後、NEG の活性化及びイオンポンプの⽴ち上げを実施し CCTG の表⽰値が 4E-8 Pa 以下であることを確認すること。 この値に達しない場合は、ヘリウムリーク試験などを⾏って原因を速やかに究明し、不良個所を特定したうえでQST担当者の指⽰を仰ぐこと。 真空機器の破損等が認められた場合には修理・交換の措置を取ること。  冷却⽔配管試験配管施⼯後に⼯場試験と同様の試験を実施すること。  圧空配管試験配管終了後に耐圧(0.8 MPa)漏洩試験(0.5 MPa)を実施し、1時間保持の上減圧が5%以下であることを確認すること。  動作試験圧空駆動装置に関して、真空及び通⽔状態でスムーズに動作が⾏えることを確認すること。  アライメント試験レーザートラッカーやトランシットを⽤いた設置精度試験をベーキング終了後に⾏って、2.4節に⽰す基準を満たすように各機器のアライメントを⾏うこと。 (要求者)部課(室)名：NanoTerasuセンター⾼輝度放射光研究開発部加速器グループ⽒ 名：稲葉健⽃図３：X線取り出しアブソーバの概要図(寸法は参考値)放射光図４：ゲートバルブ保護用アブソーバ(寸法は参考値)放射光icf114(材質︓SUS316L)図５：icf70-icf114変換ベロウ放射光icf114icf70図６：GV保護アブソーバ取り付けダクト放射光図７：X線取り出し窓取り付けダクト放射光図８：蓄積リングトンネル内から内周通路までの配線図図９：圧空配管ルート